工作原理
先由轉(zhuǎn)動(dòng)真空泵把系統(tǒng)抽到10-2帕擴(kuò)散泵油被加熱沸騰，以高速從噴出的油蒸汽流不斷將系統(tǒng)內(nèi)氣體分子帶到泵的側(cè)臂彎管球泡處集結(jié),，待氣體密度達(dá)到機(jī)械真空泵的工作范圍而被抽出，從而逐漸獲得高真空。

水環(huán)式真空泵/液環(huán)真空泵工作原理

水環(huán)式真空泵（簡(jiǎn)稱水環(huán)泵）是一種粗真空泵,，它所能獲得的極限真空為2000-4000帕，串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270-670帕,。水環(huán)泵也可用作壓縮機(jī),，稱為水環(huán)式壓縮機(jī)，是屬于低壓的壓縮機(jī),，其壓力范圍為1-2X105帕表壓力,。

水環(huán)真空泵初用作自吸水泵，而后逐漸用于石油,、化工,、機(jī)械、礦山、輕工,、醫(yī)藥及食品等許多工業(yè)部門,。在工業(yè)生產(chǎn)的許多工藝過程中，如真空過濾,、真空引水,、真空送料、真空蒸發(fā),、真空濃縮,、真空回潮和真空脫氣等，水環(huán)泵得到廣泛的應(yīng)用,。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛躍發(fā)展,，水環(huán)泵在粗真空獲得方面一直被人們所重視。由于水環(huán)泵中氣體壓縮是等溫的,，故可抽除易燃,、易爆的氣體，此外還可抽除含塵,、含水的氣體,，因此，水環(huán)泵應(yīng)用日益增多,。

泵體中裝有適量的水作為工作液,。當(dāng)葉輪按圖中順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)時(shí)，水被葉輪拋向四周,，由于離心力的作用,，水形成了一個(gè)決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的下部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切,，水環(huán)的上部?jī)?nèi)表面剛好與葉片頂端（實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有定的插入深度）,。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔,。如果以葉輪的下部零為起點(diǎn),，那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180度時(shí)，小腔面積由小變大,，且與端面上的吸氣口相通,，此時(shí)氣體被吸入，當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕,；當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí),，小腔由大變小，使氣體被壓縮,；當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí)，氣體便被排出泵外。
　
綜上所述,，水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實(shí)現(xiàn)吸氣,、壓縮和排氣的，因此它屬于變?nèi)菔秸婵毡谩?/span>

羅茨泵的工作原理：

羅茨泵泵腔內(nèi),，有二個(gè)“8”字形的轉(zhuǎn)子相互垂直地安裝在一對(duì)平行軸上,，由傳動(dòng)比為1的一對(duì)齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間,，轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,，保持有一家的間隙，可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行,。由于羅茨泵串聯(lián)使用,。

羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),，被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間內(nèi),，再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后的VO空間是全封閉狀態(tài),，所以,，在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。

但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣,，VO空間與排氣側(cè)相通時(shí),，由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高，則有一部分氣體返沖到空間VO中去,，使氣體壓強(qiáng)突然增高,。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，氣體排出泵外,。

旋片式真空泵工作原理

旋片式真空泵（簡(jiǎn)稱旋片泵）是一種油封式機(jī)械真空泵,。其工作壓強(qiáng)范圍為101325-1.33X10-2（帕）屬于低于真空泵。它可以單獨(dú)使用,，也可以作為其它高真空泵或*高真空泵的前級(jí)泵,。它已廣泛地應(yīng)用于冶金、機(jī)械,、軍工,、電子、化工,、輕工,、石油及醫(yī)藥等生產(chǎn)和科研部門。

旋片泵可以抽除密封容器中的干燥氣體,，若附有氣鎮(zhèn)裝置,，還可以抽除一定量的可凝性氣體,。但它不適于抽除含氧過高的，對(duì)金屬有腐蝕性的,、對(duì)泵油會(huì)起化學(xué)反應(yīng)以及含有顆粒塵埃的氣體,。

旋片泵是真空技術(shù)中基本的真空獲得設(shè)備之一。旋片泵多為中小型泵,。旋片泵有單級(jí)和雙吸兩種,。所謂雙級(jí)，就是在結(jié)構(gòu)上將兩個(gè)單級(jí)泵串聯(lián)起來,。一般多做成雙級(jí)的,，以獲得較高的真空度。

旋片泵抽速與入口壓強(qiáng)的關(guān)系規(guī)定如下：在入口壓強(qiáng)為1333帕,、1.33帕和1.33X10-1?。ㄅ粒┫拢涑樗僦捣謩e不得低于泵的名義抽速的95%,、50%和20%,。