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LYRA3掃描電鏡是一款集高分辨率 FE-SEM 鏡筒和多功能的高性能 Ga 離子源 FIB 于一體的雙束掃描電鏡,，是切割橫斷面、定位制備高質量TEM樣品以及高分辨三維樣品重構的選擇,。同時,，大電子束流下的優(yōu)異分辨率有利于 EDX、WDX,、EBSD 等分析應用,。LYRA3 滿足了當今材料科學和工業(yè)的樣品表征及微觀分析需求。此外,，LYRA3 非常適合電子束/離子束光刻,、多層微電子器件的電路編輯。高通量,、功能強大,、易于使用的軟件使得用戶可以毫不費力地實現(xiàn)復雜的 FIB-SEM 應用操作，如三維重構,、連續(xù)橫斷面切割,、TEM樣品制備以及相關的顯微分析等。

LYRA3掃描電鏡

突出特點

高性能電子光學系統(tǒng)

• Wide Field Optics™ 設計,，利用中間鏡 ( IML) 技術使掃描電鏡具有多種操作和顯示模式,，如大視野模式、景深增強模式等,；
• 實時電子束追蹤技術 (In-Flight Beam Tracing™),可實現(xiàn)性能及電子束的優(yōu)化,，同時直接連續(xù)調節(jié)控制電子束參數(shù)；
• 全自動電子光學系統(tǒng)的設置與對中,；
• 快速圖像采集速率,；
• 應用3D 電子束技術可實現(xiàn)*的實時立體成像觀察，開啟驚奇的 3D 體驗及 3D 導航微納世界之旅,；