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探針臺(Analytical Probe Station)
  • 探針臺(Analytical Probe Station)

更新時(shí)間：2024-09-16 21:00:06

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儀器特點(diǎn)
1、同軸驅(qū)動臺面
2,、RF射頻探針升級
3,、20 – 4000倍的放大
4、后座自由的運(yùn)動
5,、載物臺快速升降
6,、晶圓取放簡單
7、壓盤上下精細(xì)調(diào)節(jié)
8,、探針卡尖超速傳動調(diào)節(jié)
 
儀器規(guī)格
真空載物臺：  4/6/8/12英寸不銹鋼
載物臺Theta:  0 – 30度轉(zhuǎn)動
壓盤上下粗調(diào)：6毫米范圍內(nèi)控制桿調(diào)整
壓盤上下微調(diào)：25毫米手動輪子調(diào)整
壓盤：12微控定位器
顯微鏡臺：1英寸x1英寸移動
真空泵：7升/分鐘,，-250mmHg
尺寸：780毫米長x660毫米寬x700毫米高
重量：80Kg

附件
低電流、低電容探針
RF探針,、電纜
主動探針
超聲切割
PCB夾具,、鍍金載物臺
熱臺,、冷卻系統(tǒng)
防震臺、屏蔽罩,、黑箱
…

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