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納米(微米)壓痕/劃痕測試儀
  • 納米(微米)壓痕/劃痕測試儀

更新時間：2024-09-16 21:00:06

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儀器特點(diǎn)
1) 多頻率壓痕測試 – 這種技術(shù)對于塑料高分子,、MEMs等黏彈性受頻率影響的材料變形研究非常有用,，提供材料納米壓痕試驗(yàn)全頻率范圍的黏彈性響應(yīng)；
2) 深至15nm的硬度&楊氏模量測試,；
3) Windows XP環(huán)境下自動操作,；
4) Spherical, Vickers及Berkovich納米壓痕測試；
5) 材料黏彈性的動態(tài)機(jī)械分析,；
6) 潛變,、疲勞、斷裂剛性測試；
7) 壓痕的分布地圖繪制(Mapping),；
8) 選配的高低溫測試,；
9) AFM/SPM成像用于納米尺度壓痕圖像觀測；
10) 可以升級增加納米(微米)劃痕,、微米硬度測試模塊功能,；
 
納米壓痕試驗(yàn)儀規(guī)格
 zui大壓痕深度
 4µm & 25µm自動距離修正(1000µm可選配)
 深度分辨率(理論)
 0.006nm
 深度分辨率(防振臺＊)
 0.5nm
 zui大負(fù)載
 50mN & 500mN自動距離修正
 負(fù)載分辨率(理論)
 0.08µN
 負(fù)載分辨率(防振臺＊)
 1µN
 X-Y運(yùn)動范圍
 200 x 100毫米
 X-Y橫向分辨率
 0.15µm
 Z向馬達(dá)
 90毫米
 物鏡鏡頭
 標(biāo)準(zhǔn): 10x, 50x, 100x (選配: 5x, 20x)
 ＊ 依賴實(shí)驗(yàn)室環(huán)境
 
 
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體技術(shù)(鈍化層、鍍金屬,、Bond Pads),；
存儲材料(磁盤的保護(hù)層、磁盤基底上的磁性涂層,、CD的保護(hù)層),；
光學(xué)組件(接觸鏡頭、光纖,、光學(xué)刮擦保護(hù)層),；
金屬蒸鍍層；
防磨損涂層(TiN, TiC, DLC, 切割工具),；
藥理學(xué)(藥片,、植入材料、生物組織),；
工程學(xué)(油漆涂料、橡膠,、觸摸屏,、MEMS)；

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