真空快速退火爐-材料設(shè)備

真空快速退火爐-材料設(shè)備（RTP）一般都是以紅外鹵素?zé)魹榘l(fā)熱元件,，升溫速度極快，采用熱電偶測(cè)溫并采用國(guó)際*的PID控制,，具有很高的控溫精度,，快速退火爐具有真空裝置，可在多種氣氛下工作,。大大提高了其使用范圍,。


儀器規(guī)格：
加熱方式：紅外鹵素鎢燈；
最大樣品尺寸： 2--6寸,，單片,；
最高溫度： 1200度；
工作氣體：最多3路氣體（MFC控制）,，可通入氧氣,，氮?dú)饧岸栊詺怏w；
極限真空：5e-3torr,；
真空泵：機(jī)械泵（可選配分子泵,，干泵）；
工藝控制：手動(dòng)工藝控制,；
循環(huán)水冷卻,，提高降溫速度；
結(jié)構(gòu)緊湊,，經(jīng)濟(jì)實(shí)惠,。


應(yīng)用：
快速熱升溫工藝（熱退火）；
薄柵氧化（納米器件),；
低熔點(diǎn)壓焊（反應(yīng)金屬壓焊）,；
硅化物構(gòu)造,；
硅化物界點(diǎn)構(gòu)造等。