一,、單原子層逐次沉積,，沉積層極均勻的厚度和優(yōu)異的一致性等就體現(xiàn)出來，而沉積速度慢的問題就不重要了,。以下主要討論原子層沉積原理和化學(xué),，原子層沉積與其他相關(guān)技術(shù)的比較，原子層沉積設(shè)備,，原子層沉積的應(yīng)用和原子層沉積技術(shù)的發(fā)展,。
二、通過將氣相前驅(qū)體脈沖交替地通入反應(yīng)器并在沉積基體上化學(xué)吸附并反應(yīng)而形成沉積膜的一種方法(技術(shù)),。當前驅(qū)體達到沉積基體表面,，它們會在其表面化學(xué)吸附并發(fā)生表面反應(yīng)。在前驅(qū)體脈沖之間需要用惰性氣體對原子層沉積反應(yīng)器進行清洗,。由此可知沉積反應(yīng)前驅(qū)體物質(zhì)能否在被沉積材料表面化學(xué)吸附是實現(xiàn)原子層沉積的關(guān)鍵,。
三、氣相物質(zhì)在基體材料的表面吸附特征可以看出,，任何氣相物質(zhì)在材料表面都可以進行物理吸附,，但是要在材料表面的化學(xué)吸附必須具有一定的活化能，因此能否實現(xiàn)原子層沉積，選擇合適的反應(yīng)前驅(qū)體物質(zhì)是很重要的,。
四,、ALD是通過化學(xué)反應(yīng)得到生成物，但在沉積反應(yīng)原理,、沉積反應(yīng)條件的要求和沉積層的質(zhì)量上都與傳統(tǒng)的CVD不同,，在傳統(tǒng)CVD工藝過程中，化學(xué)蒸汽不斷通入真空室內(nèi),，因此該沉積過程是連續(xù)的,，沉積薄膜的厚度和溫度、壓力,、氣體流量以及流動的均勻性,、時間等多種因素有關(guān)；在ALD工藝過程中,，則是將不同的反應(yīng)前驅(qū)物以氣體脈沖的形式交替送入反應(yīng)室中,，因此并非一個連續(xù)的工藝過程。相對于傳統(tǒng)的沉積工藝而言,，ALD在膜層的均勻性,、階梯覆蓋率以及厚度控制等方面都具有明顯的優(yōu)勢。
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