磁控濺射鍍膜機是一種普適鍍膜機,用于各種單層膜,、多層膜和摻雜膜系,。可鍍各種硬質(zhì)膜,、金屬膜,、合金、化合物,、半導(dǎo)體,、陶瓷膜、介質(zhì)復(fù)合膜和其他化學(xué)反應(yīng)膜,,亦可鍍鐵磁材料,。主要用于實驗室制備有機光電器件的金屬電極及介電層,以及制備用于生長納米材料的催化劑薄膜層,。
磁控濺射鍍膜機主要優(yōu)勢:
1,、實用性:
1.1、設(shè)備集成度高,,結(jié)構(gòu)緊湊,,占地面積小,可以放置于實驗桌面上即可,;
1.2,、通過更換設(shè)備上下法蘭可以實現(xiàn)磁控與蒸發(fā)功能的轉(zhuǎn)換,實現(xiàn)一機多用,;
2,、方便性:
2.1、設(shè)備需要拆卸的部分均采用即插即用的方式,,接線及安裝調(diào)試簡單,,既保證了設(shè)備使用方便又保證了設(shè)備的整潔性;
2.2,、設(shè)備可將主機置于手套箱內(nèi),水,、電,、氣等通過4個KF40接口接到手套箱外,,與手套箱的對接靈活方便;
2.3,、設(shè)備工作電壓為220V,,整機功率小于2KW,對實驗室的供電要求低,;
3,、穩(wěn)定性:
3.1、設(shè)備主要零部件采用進口或國內(nèi)品牌,,保證了設(shè)備的質(zhì)量及穩(wěn)定性,;
磁控濺射鍍膜機設(shè)備安裝條件:
1、供電要求
1.1,、設(shè)備供電總功率≤2KW,,220V,單相三線制(一火一零一地),;
1.2,、插座距離設(shè)備尺寸≤2m;
1.3,、其它:如用戶選配冷卻循環(huán)水機或其它選購件,,用戶自行準備增配件的供電要求,不在安裝條件范圍內(nèi),;
2,、供水要求
2.1、設(shè)備需水冷的部件有磁控靶,、膜厚儀探頭(如選配膜厚控制系統(tǒng)),;
2.2、水壓0.2~0.4MPa,,水溫10~25℃,;
3、安裝場地大小要求
設(shè)備尺寸為:長×寬:L60cm×W60cm,,建議安裝場地尺寸≥L60×W80cm,。
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