Thick 8000 X-RAY膜厚測試儀

國產(chǎn)SANX膜厚測試儀性能優(yōu)勢

精密的三維移動平臺
的樣品觀測系統(tǒng)
良好的圖像識別
輕松實現(xiàn)深槽樣品的檢測
四種微孔聚焦準直器，自動切換
雙重保護措施,，實現(xiàn)無縫防撞
采用大面積高分辨率探測器,，有效降低檢出限，提高測試精度
全自動智能控制方式,，一鍵式操作!
開機自動退出自檢,、復位
開蓋自動退出樣品臺，升起Z軸測試平臺,，方便放樣
關(guān)蓋推進樣品臺,，下降Z軸測試平臺并自動完成對焦
直接點擊全景或局部景圖像選取測試點
點擊軟件界面測試按鈕，自動完成測試并顯示測試結(jié)果

國產(chǎn)SANX膜厚測試儀技術(shù)指標

分析元素范圍：從硫（S）到鈾（U）
同時檢測元素：多24個元素,，多達五層鍍層
檢出限：可達2ppm，薄可測試0.005μm
分析含量：一般為2ppm到99.9%
鍍層厚度：一般在50μm以內(nèi)（每種材料有所不同）重復性：可達0.1%
穩(wěn)定性：可達0.1%
SDD探測器：分辨率低至135eV
采用良好的微孔準直技術(shù),，小孔徑達0.1mm,，小光斑達0.1mm
樣品觀察：配備全景和局部兩個工業(yè)高清攝像頭
準直器：0.3×0.05mm,、Ф0.1mm、Ф0.2mm與
Ф0.3mm四種準直器組合
儀器尺寸：690（W）x 575（D）x 660（H）mm
樣品室尺寸：520（W）x 395（D）x150（H）mm
樣品臺尺寸：393(W)x 258 (D）mm
X/Y/Z平臺移動速度：額定速度200mm/s 速度333.3mm/s
X/Y/Z平臺重復定位精度 ：小于0.1um
操作環(huán)境濕度：≤90%
操作環(huán)境溫度 15℃～30℃

4,、測試實例

在保證計數(shù)率的情況下能有效分辨相近元素,，大大提高測試穩(wěn)定性、降低檢測限,。

Thick 8000X-RAY膜厚測試儀檢測譜圖

某國外X-RAY膜厚測試儀儀器檢測譜圖

11次測量結(jié)果（Au-Cu)的穩(wěn)定性數(shù)據(jù)對比如下：