天津X熒光電鍍層測厚儀

技術(shù)參數(shù)

分析元素范圍：硫（S）- 鈾（U） 

同時檢測元素：多24種,，多達5層鍍層，根據(jù)客戶的需求進行配置 

檢出限：可達2ppm,，薄可測0.005μm

分析含量：2ppm-99.9%

鍍層厚度：50μm以內(nèi)（每種材料有所不同） 

重復(fù)性：可達0.1%

穩(wěn)定性：可達0.1%

SDD探測器：分辨率低至135eV

采用良好的微孔準(zhǔn)直技術(shù),，小孔徑達0.1mm，對微小產(chǎn)品測試更準(zhǔn)確

小光斑可達0.1mm

樣品觀察：配備全景和局部兩個工業(yè)高清攝像頭 

準(zhǔn)直器：0.3×0.05mm,、Ф0.1mm,、Ф0.2mm與Ф0.3mm

四種準(zhǔn)直器組合 

儀器尺寸：690（W）×575（D）×660（H）mm

樣品室尺寸：520（W）×395（D）×150（H）mm

樣品臺尺寸：393（W）×258（D）mm

X/Y/Z平臺移動速度：額定速度200mm/s速度333.3mm/s

X/Y/Z平臺重復(fù)定位精度：小于0.1μm

操作環(huán)境濕度：≤90%

操作環(huán)境溫度：15℃-30℃ 

性能優(yōu)勢

精密的三維移動平臺，測試不同規(guī)格產(chǎn)品更有優(yōu)勢

的樣品觀測系統(tǒng),，測試過程清晰觀測

良好的圖像識別 

輕松實現(xiàn)深槽樣品的檢測 

四種微孔聚焦準(zhǔn)直器,，自動切換 

雙重保護措施，實現(xiàn)無縫防撞 

采用大面積高分辨率探測器,，有效降低檢出限,，提高測試精度 

全自動智能控制方式,，一鍵式操作 ，對操作人員要求不高

開機自動退出自檢,、復(fù)位 ,，不再人工檢測

開蓋自動退出樣品臺，升起Z軸測試平臺,，方便放樣 

關(guān)蓋推進樣品臺,，下降Z軸測試平臺并自動完成對焦 

直接點擊全景或局部景圖像選取測試點 

點擊軟件界面測試按鈕，自動完成測試并顯示測試結(jié)果 

應(yīng)用領(lǐng)域

X熒光電鍍層測厚儀產(chǎn)品廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體材料,、電子元器件,、汽車部件、五金工具,、線路板,、首飾、端子,、鋁合金電鍍等企業(yè)中,，在天津設(shè)有售后服務(wù)網(wǎng)點，方便周期企業(yè)的維護,，大大降低了客戶的后期使用成本,。