隨著微型計算機多媒體技術(shù)的發(fā)展和普及,,光學薄膜在液晶顯示屏,,CRT顯示器等方面廣泛應用。為了提高光學薄膜的生產(chǎn)效率和改善產(chǎn)品質(zhì)量有必要逐步導入人工智能鍍膜新技術(shù),。膜厚測量儀適用于nm及um級薄膜厚度測量,,測量的空間分辨率(測量點的大小)可達10um,厚度測量準確度為nm級,。
工作原理:
物質(zhì)在被一定波長的X射線照射時,,元素將處于激發(fā)狀態(tài)而發(fā)射出光子,形成一種特征X 熒光射線,。每一種元素的能量都是一一對應的,,探測 器在接收到元素的特征X熒光射線之后,可以通過其中的光子能量進行定性分析,,還可通過其中的光子量值進行定量分析,。
膜厚測量儀對樣品進行非接觸式、無損,、高精度測量,,可測量反射率,、顏色、膜厚等參數(shù),??蓱糜诠夥雽w材料,、高分子材料等薄膜層的厚度測量,,在半導體、太陽能,、液晶面板和光學行業(yè)以及科研所和高校都得到廣泛的應用,。
這里所指的人工智能鍍膜的含意,就是指在沒有鍍膜專家的情況下,,也能按照zhi定的光學特性,,實現(xiàn)自動鍍膜。一般來說,,這樣的系統(tǒng)包括以下的幾部分,。
(1)針對鍍膜機系統(tǒng),建立鍍膜條件及薄膜的光學常數(shù)的數(shù)據(jù)庫,;
(2)薄膜的設計及合成,;
(3)鍍膜的仿真,考慮薄膜的折射率及膜厚的影響,;
(4)求出鍍膜條及膜厚控制的數(shù)據(jù),;(5)實際鍍膜,測出各層的膜厚及折射,,再做設計,;
(6)產(chǎn)品的性能測試。
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