國McPherson公司是一家專業(yè)的光譜設(shè)備生產(chǎn)廠商,，公司位于波士頓西北部的Chelmsford,。自1954年為美國空氣動力實驗室提供第一套光譜儀，服務(wù)于航空航天研究領(lǐng)域,，60多年來,，McPherson一直致力于為全世*的研究院所提供**流的光譜測試設(shè)備。在McPherson的客戶名單上,，包括美國NIST,、中國TOKAMAK設(shè)備、貝爾實驗室,、歐洲聯(lián)合杯JET,、奧斯丁核聚變反應(yīng)堆等世界上眾多*流的研究機構(gòu)。
McPherson公司已形成一條成熟完整的產(chǎn)品線，涵蓋從紅外,、可見光,、紫外、極紫外（EUV）,、真空紫外（VUV）直至軟X射線（SXR）波段的所有領(lǐng)域（光譜范圍從＜1nm至78μm）,。其所生產(chǎn)的設(shè)備包括從小型光譜儀到20多噸重、30多米長的大系統(tǒng),。光譜儀有的在太空飛行, 也有的可以裝入口袋,。這些光譜儀光路設(shè)計包括正入射、掠入射,、Criss-Cross,、Czerny-Turner、Corrected Czerny-Turner,、Seya-Namioka結(jié)構(gòu)以及McPherson和Schoeffel 專*設(shè)計,，同時承接光譜儀和光譜光度計的定制設(shè)計。
此外,，McPherson也提供各種光譜儀相關(guān)配件,，如：標準光源，氙燈,、氘燈,、鎢鹵素燈、汞燈,、空心陰極燈,、氣體放電燈、單陽極/多陽極軟X射線源等,；標準參考探測器,，可覆蓋真空紫外-紅外波段；各種組件,，多通道光纖（多達100多通道）,、耦合器、準直器,、真空樣品室,、超高真空組件等。
在McPherson所有的產(chǎn)品中,，除了傳統(tǒng)C-T結(jié)構(gòu)光譜儀以及超高分辨率光譜儀以外,，最富盛名的就是其真空紫外和軟X射線光譜儀以及基于該類光譜儀而開發(fā)的一系列產(chǎn)品，如：真空紫外分光光度計,、真空紫外可調(diào)單色光源,、VUV熒光粉測試系統(tǒng),、UV-VIS-IR光譜校準測試系統(tǒng)等，特別是此類產(chǎn)品在全世*同步加速器以及核聚變研究方面的應(yīng)用,，已經(jīng)成為了光譜測試領(lǐng)域的傳奇,。
McPherson部分客戶
McPherson制造的光譜儀可以在極短的光波長下工作，從波長小于1nm,，到可見光范圍,，其分析和診斷儀器適合您的應(yīng)用，例如,，針對工作在高次諧波（HHG）激光診斷,，先進半導體極紫外測量和分析，高溫軟X射線等離子體物理診斷,，超高（UHV）或高真空應(yīng)用,。McPherson生產(chǎn)開發(fā)了大量的光譜儀型號和光學設(shè)計。以下是在許多光譜學學科中廣受歡迎的四種光譜儀,，這四種光譜儀專為軟X射線和超快極紫外光子源和激光系統(tǒng)的分析和診斷光譜計量開發(fā),，可進行0.5到500nm以上的光學測量。
一,、用于測量低能量深紫外光波長（50-500nm）
主要為234/302型號,，這是一個非常好的儀器，可從紫外波段覆蓋至波長30nm,，兼顧掃描應(yīng)用和直接探測CCD快速采集光譜,。如果您需要更高的光譜分辨率，可以考慮型號235或型號225用于相同的波長范圍,。
234/302實物圖
234/302——像差校正真空光譜儀，主要特點：
l 可搭配CCD或MCP像增強器的真空光譜儀
l 工作于30nm-VUV波段
l 高光通量,，f/4.5
l 可選擇——塔輪,，多出口，超高真空（UHV）
234/302實物圖及多種類型可選
系統(tǒng)示例：基于234/302的真空紫外分光光度計
光譜實測數(shù)據(jù)：
電離氦,、氖發(fā)射光譜測試
200nm以下氘燈光譜測試
真空紫外氫光譜測試
2400g Pt＆1200g Al+MgF2
注：采用234/302像差校正光柵搭配直接探測CCD采集氘燈光譜,，光源為帶氟化鎂光窗的氘燈；對于氫,、氦和氖,，光源是McPherson 629型號空心陰極燈；電離氦,、氖掃描光譜測試,，采用VUV硅探測器及凹面像差校正的單色儀光柵（2400 g/mm鍍Pt涂層和1200 g/mm鍍Al+MgF2涂層）。
235與225型號真空光譜儀
二,、針對高能光譜（1-300nm）的分析和診斷
真空紫外（VUV）248/310型號符合要求,，它可搭配單點探測器或作為一種采用凹球面光柵的掃描單色儀,，狹縫或探測器沿羅蘭圓掃描，它可配置直接探測CCD,、MCP像增強器一起工作,，當與光譜光源集成時，可以成為可調(diào)光源,，適用于半導體,、空間科學、天體物理學等領(lǐng)域的計量和校準,。
248/310搭配直接探測CCD
248/310搭配MCP像增強器及CCD
基于248/310的可調(diào)光源
注：McPherson掠入射光譜儀可以多種配置以滿足應(yīng)用或?qū)嶒炓?。如：為了診斷瞬態(tài)等離子體，用戶可能需要快速收集一系列數(shù)據(jù),，并盡可能具有良好的時間分辨率,， 本儀器可配備具有選通能力的MCP像增強器；為了監(jiān)測一個窄的光譜區(qū)域（如FEL,、HHG X射線激光器）,，配置CCD可以用于高分辨率的直接探測， CCD讀出需要更長的時間,，但它們提供了優(yōu)異的靈敏度和響應(yīng)范圍,； 對于測試材料反射/透過率或在軟X射線和極紫外波段的校準，248/310可以設(shè)置反向,、掃描源及提供特定波長的樣品或部件用于測試,。
248/310——SXR和EUV羅蘭圓單色儀，主要特點：
l 羅蘭圓光學系統(tǒng)
l 1nm到310nm波段范圍
l 支持掃描狹縫,，直接探測CCD,，MCP配置
l 多種光柵可選
三、以高能光譜診斷為目標（0.5-150nm）
251MX型號是一個輕松的解決方案,。它使用像差校正的衍射光柵,，在直接探測CCD（或門控MCP像增強器）上產(chǎn)生25毫米寬的平場。多種衍射光柵可供選擇,，且可同時安裝兩塊衍射光柵以提高軟X射線覆蓋范圍,。該XUV光譜儀活動部件少，在軟X射線（SXR）和真空紫外波段內(nèi)易于使用,。
251MX實物及結(jié)構(gòu)圖
251MX——XUV,、SXR和EUV平場光譜儀，主要特點：
l 像差校正光柵
l 平場,，直接用MCP或CCD探測
l 快速光譜數(shù)據(jù)采集
l 高真空度10^-6 torr
l 可選——超高真空（UHV）
實測光譜數(shù)據(jù)示例：
雙離子氦光譜測試
氦和氫光譜測試
氬I和II離子光譜測試
氦氖混合氣體光譜測試
MgO光譜測試
Al-K光譜測試
注：MgO光譜是用251MX型號配置CCD探測的,；300g/mm光柵用于氦和氫數(shù)據(jù)；MgO和Al-K數(shù)據(jù)使用2400g/mm光柵,；其余為1200g/mm像差校正的平場光柵,；光源為McPherson無窗空心陰極燈和軟X射線（SXR）固態(tài)陽極源,。
四、離平面（Off Plane）OP-XCT光譜儀
OP-XCT光譜儀使用環(huán)面鏡和平面光柵進行點對點成像,，具有固定的入口和出口狹縫位置,，掠入射離面光學系統(tǒng)效率高，時間展寬低,，成像質(zhì)量好,，且易于使用。當作為串聯(lián)或雙單色儀時,，滿足時間補償,，這對于EUV和SXR短脈沖和超快激光的應(yīng)用是有益的。光譜范圍取決于所選的衍射光柵——提供了四塊可選——通常是8-125nm（10-150eV）,。*的非平面光柵幾何結(jié)構(gòu)提供了非常高的衍射效率,。它在時間相關(guān)和角度分辨的光電子能譜（ARPES）以及其他高能研究（如pinch、LPP,、同步加速器）中是一種有效的光譜儀,。
OP-XCT實物圖
OP-XCT——SXR、EUV離平面光譜儀,，主要特點：
l 點對點成像
l 平面,，運動光柵
l 高光通量
l 掃描或CCD探測
示例：發(fā)表于Nature的論文
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