棱鏡耦合測試儀采用棱鏡耦合方法測試樣品折射率，可測試波長633nm,、935nm,、1549nm處的折射率值，通過軟件做曲線耦合科求出任何波段的模擬值。測量原理：待測樣品通過一個空氣作用的耦合探頭與棱鏡基座接觸,，在薄膜與棱鏡之間產(chǎn)生一個空氣狹縫,。一束激光光束照射到棱鏡基座上，通常會在基座上全反射進入光電探測器,。在某一些入射角,，稱為模式角，光子向下穿過空氣狹縫進入薄膜,，進入一種被引導(dǎo)的光傳播模式,，使到達探測器的光強度大幅降低。
棱鏡耦合測試儀的技術(shù)特點：
1,、對折射率隨波長變化不敏感：
每種薄膜的折射率都隨波長變化,。在以分光光度學(xué)為基礎(chǔ)的技術(shù)中，如果沒有精確了解薄膜折射率在全波長范圍內(nèi)的變化,，就會導(dǎo)致實質(zhì)性的錯誤,。而且，一些可變折射率薄膜,，例如等離子氮化硅的折射率-波長曲線就高度依賴于薄膜沉淀條件,。對于這些薄膜，Model2010的單色測量具有了一種明顯的優(yōu)勢,。
2,、不必預(yù)先知曉薄膜厚度:
由于橢偏儀數(shù)據(jù)隨薄膜厚度周期性變化，橢圓偏光法要求預(yù)先知曉薄膜厚度,，準確度為±750to±1250,，這取決于薄膜折射率。Model2010可以進行直接的厚度測量,，故不需要預(yù)先知曉薄膜厚度,。
在某些周期性的厚度范圍內(nèi)不可能進行以橢圓偏光法為基礎(chǔ)的折射率測量。使用Model2010,，一旦薄膜厚度超過某個最小的閾值（典型值為3000-4800,取決于薄膜/基底材料類型）就可得到*準確的折射率測量,。
3、內(nèi)部一致性檢測:
如果薄膜厚度超過5000-7500?,，將對薄膜厚度和折射率進行多重獨立評估,，并將這些多重評估的標準偏差顯示出來。只要這些測量標準偏差很低（典型值為：厚度0.3%,，折射率.01%），顯著誤差幾乎不會出現(xiàn),。目前市面上還沒有其他的技術(shù)可以就每次檢測的正確性提供類似的“信心檢測”硅基上氮氧化物及硅基上氧化物的氮化物表層的測量,。
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