| 簡介 | LY.4-RTS-4型數(shù)字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 A.S.T.M 標準而設(shè)計的,，于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器,。
儀器由主機、測試臺,、四探針探頭,、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示,，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析,，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果,。
儀器采用了電子技術(shù)進行設(shè)計,、裝配。具有功能選擇直觀,、測量取數(shù)快,、精度高、測量范圍寬,、穩(wěn)定性好,、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點,。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠,、半導(dǎo)體器件廠、科研單位,、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試,。
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| LY.4-RTS-4型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù),，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄,、顯示出來,。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析
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| | 技 術(shù) 指 標 ： |
| 測量范圍 | 電阻率：0.001～200Ω.cm（可擴展）,；
方塊電阻：0.01～2000Ω/□（可擴展）；
電導(dǎo)率：0.005～1000 s/cm,；
電阻：0.001～200Ω.cm,；
| 可測晶片直徑 | 140mmX150mm（配S-2A型測試臺）；
200mmX200mm（配S-2B型測試臺）,；
400mmX500mm（配S-2C型測試臺）,； | 恒流源 | 電流量程分為0.1mA、1mA,、10mA,、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) | 數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV,；
分辨力：10μV,；
輸入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ,；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性,、超量程自動顯示,； | 四探針探頭基本指標 | 間距：1±0.01mm；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ,；
機械游移率：≤0.3%,；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
探針壓力：5～16 牛頓（總力）,； | 四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | （見探頭附帶的合格證） | 模擬電阻測量相對誤差
（ 按JJG508-87進行） | 0.1Ω,、1Ω、10Ω,、100Ω小于等于0.3%±1字 | 整機測量zui大相對誤差 | （用硅標樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±5% | 整機測量標準不確定度 | ≤5% | 計算機通訊接口 | 并口 | 標準使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃,；
相對濕度：≤65%；
無高頻干擾,；
無強光直射,； |
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