應(yīng)用范圍：光電輪廓儀的應(yīng)用范圍很廣，它主要用于測(cè)量各種精密加工零件表面的微觀三維結(jié)構(gòu),，如表面粗糙度,；零件表面的刻線；刻槽的深度和鍍層的厚度等,。具體地說,，如量塊、光學(xué)零件表面的粗糙度,；標(biāo)尺,、度盤的刻線深度；光柵的槽形結(jié)構(gòu),；鍍層厚度和鍍層邊界處的結(jié)構(gòu)形貌,；磁（光）盤、磁頭表面結(jié)構(gòu)測(cè)量,；硅片表面粗糙度及其上圖形結(jié)構(gòu)測(cè)量等等,。由于儀器測(cè)量精度高，重復(fù)性好,，具有非接觸和三維測(cè)量等特點(diǎn),，并采用計(jì)算機(jī)控制和快速分析、計(jì)算測(cè)量結(jié)果,，本儀器適用于各級(jí)測(cè)試,、計(jì)量研究單位，工礦企業(yè)計(jì)量室,，精密加工車間和高等院校及科學(xué)研究單位等,。
儀器由倒置式改為正置式，更符合人們的操作習(xí)慣,；
應(yīng)用CMOS代替CCD,，省去圖象卡并提高了質(zhì)量,；
用低壓電源代替高壓電源，節(jié)省了儀器成本,；
用國產(chǎn)的代替德國進(jìn)口壓電陶瓷,，解決了關(guān)鍵部件的進(jìn)口難題；
增加了自動(dòng)步距和亮度校正程序,，同時(shí)增加了局部放大三維立體圖功能,；
表面微觀不平深度測(cè)量范圍：130?1nm
測(cè)量的重復(fù)性：sRa≤0.5nm
測(cè)量精度：8nm
物鏡倍率：40X
數(shù)值孔徑：0.65
儀器視場(chǎng) 目視：f0.25mm
攝象：0.13X0.13mm
儀器放大倍數(shù) 目視：500X
攝象（計(jì)算機(jī)屏幕觀察）：2500X
接收器測(cè)量列陣：1000X1000
象素尺寸：5.2X5.2nm
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