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ULVAC 日本愛(ài)發(fā)科 多級(jí)羅茨型干式真空泵通過(guò)高溫領(lǐng)域的泵體均熱化,，實(shí)現(xiàn)將CVD,、蝕刻等工藝中產(chǎn)生的升化性排氣物質(zhì)以氣體狀態(tài)排出的一款泵,。

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ULVAC 日本愛(ài)發(fā)科 螺桿型干式真空泵通過(guò)對(duì)轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進(jìn)行特殊涂層處理，以防腐蝕,。采用ULVAC設(shè)計(jì)的轉(zhuǎn)子軸,，實(shí)現(xiàn)高性能的排粉。從大氣壓到極限壓力...

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