報告簡介：

半導體器件,，尤其是高密度的集成電路,，常見的污染莫過于微粒和有機化學品污染,。該類污染物常落于器件的關(guān)鍵部位并毀壞器件的功能成為致命缺陷,。目前微粒的量度尺寸已經(jīng)降到亞微米,，這種亞微米的小尺寸污染檢測與鑒別尚未有高效準確的表征手段,。有機化學品污染以多種形式存在,，如人的皮膚油脂，凈化室空氣,，機械油,，清洗溶劑等。如何在凹凸不平的集成電路微區(qū)里發(fā)現(xiàn)并鑒定有機化學品污染,，提升器件良品率,，已成為眾多科研工作者的研究課題。

傳統(tǒng)的傅里葉變換紅外光譜FTIR/QCL直是半導體器件污染的常用表征手段,，但該技術(shù)在關(guān)鍵問題的表征上存在些局限性,，例如空間分辨率(10-20 μm) 較差和對<10 μm的樣品測試靈敏度較低、堅硬的金屬界面可能會損壞ATR探針,、以及污染出現(xiàn)在凹凸/狹隙內(nèi),，使得ATR接觸式測量難以實現(xiàn),。所以，如何在亞微米分辨率別和非接觸條件下,，實現(xiàn)芯片/半導體器件的有機缺陷和污染物的識別和表征是非常重要以及創(chuàng)新的種手段,。

PSC (Photothermal Spectroscopy Corp. )公司研發(fā)的亞微米分辨紅外拉曼同步測量系統(tǒng)mIRage將*的光學光熱紅外(O-PTIR)技術(shù)與同步拉曼光譜技術(shù)相結(jié)合，直接解決了上述挑戰(zhàn),。該系統(tǒng)具有500 nm的亞微米紅外空間分辨率,、非接觸無損測量、免樣品制備,、高質(zhì)量光譜(測試可兼容粒子形狀/尺寸和表面粗糙度),、商業(yè)數(shù)據(jù)庫檢索匹配等點，已廣泛應用于半導體/芯片器件的痕量有機污染分析,。

在本次講座中,，我們將以半導體污染物的分析檢測為例，深入探討傳統(tǒng)FTIR和mIRageTM O-PTIR顯微光譜技術(shù)的區(qū)別和點,，并通過系列非常有挑戰(zhàn)性的樣品測試結(jié)果和分析來展示紅外+拉曼同步顯微光譜技術(shù)的*功能與勢, 希望對您的研究工作有所幫助,。

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報告時間：

2021年11月24日 14:00

主講人：

趙經(jīng)鵬 博士

趙經(jīng)鵬,，博士，畢業(yè)于法國國家科研中心,，主要研究方向為高分子聚合物及納米材料物化性能表征等相關(guān)研究工作,，在Quantum Design中國公司負責非接觸亞微米分辨紅外拉曼同步測量系統(tǒng)（mIRage）和臺式X射線精細結(jié)構(gòu)吸收譜（easyXAFS）等相關(guān)產(chǎn)品的技術(shù)支持及市場拓展等工作。

技術(shù)線上論壇：

https://qd-china.com/zh/n/2004111065734

相關(guān)產(chǎn)品：

1.mIRage 非接觸式亞微米分辨紅外拉曼同步測量系統(tǒng)

http://sorrent.com.cn/product/detail/33015211.html