2018年10月,，Swisslitho 3D納米結(jié)構(gòu)高速直寫機(jī)NanoFrazor Scholar在復(fù)旦大學(xué)張遠(yuǎn)波教授課題組成功安裝,。張遠(yuǎn)波教授是二維材料研究域的學(xué)者，由于很多二維材料都對空氣中的氧氣和水蒸氣很敏感,，所以整個(gè)制備過程需要在手套箱惰性氣氛保護(hù)下完成制備,，這樣做既可以保護(hù)樣品，又可以減少不必要的轉(zhuǎn)移工序,。有鑒于此,，Swisslitho公司提供了整套的手套箱集成方案，實(shí)現(xiàn)原位表面結(jié)構(gòu)刻蝕和實(shí)時(shí)形貌表征,，的契合了張遠(yuǎn)波教授的要求,。
 

圖1：完成安裝及調(diào)試后手套箱中的3D納米結(jié)構(gòu)高速直寫機(jī)NanoFrazor Scholar設(shè)備

整個(gè)安裝過程非常順，在3D納米結(jié)構(gòu)高速直寫機(jī)NanoFrazor Scholar完成安裝的當(dāng)周內(nèi),，YU Yijun博士用該設(shè)備探測表面覆蓋超過300nm光刻膠的三層堆疊石墨烯,，并在其上完成電圖形的書寫。去膠之后的電學(xué)測量結(jié)果顯示其已經(jīng)表現(xiàn)為個(gè)功能性器件,。
NanoFrazor3D納米結(jié)構(gòu)高速直寫機(jī)的加工過程具有直接性,、低損傷和高速等點(diǎn)，這些都對張教授的研究具有大的幫助,。我們期待未來能夠與課題組進(jìn)步緊密溝通合作,，共同完成高速直寫實(shí)驗(yàn)，不斷增強(qiáng)微納制備流程的性,。

圖2： (a) 手套箱中完成安裝的NanoFrazor Scholar設(shè)備,。
人員介紹（從左到右）：Simon Bonanni博士，DENG Yujun,，YU Yijun博士,。
(b) 由NanoFrazor Scholar探測獲得的光刻膠層下的石墨烯片層形貌。
(c) 由NanoFrazor Scholar直接書寫并去膠剝離后的石墨烯片層上電結(jié)構(gòu)形貌,。
(d) 石墨烯電結(jié)構(gòu)的電學(xué)測量結(jié)果,。

客戶反饋：

“我們用NanoFrazor Scholar來實(shí)現(xiàn)在手套箱內(nèi)對精巧的二維材料表面制備電。NanoFrazor可以定位二維材料,，并且可以實(shí)時(shí)快速反饋整個(gè)刻蝕過程,，這些功能對我們來說是非常重要的，我們可以用NanoFrazor快捷地完成高質(zhì)量實(shí)驗(yàn)器件的制備,。”

復(fù)旦大學(xué)張遠(yuǎn)波教授