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功能薄膜特性測試儀 型號:UKSY-5
功能薄膜特性測試儀 型號:UKSY-5

地:國產(chǎn)

貨物所在地:北京北京市

更新時間:2025/2/14 7:10:59

訪問次數(shù):97

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供應(yīng)簡介
本測試儀是多用途綜合測量裝置,開展半導(dǎo)體材料的電阻性能的測試,。由四探針測試儀和非晶硅薄膜電導(dǎo)率測量儀組成,。四探針測試儀由主機,、測試架等部分組成,,測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示


詳細(xì)介紹

功能薄膜特性測試儀 型號:UKSY-5 貨號:ZH9392
產(chǎn)品簡介
本測試儀是多用途綜合測量裝置,,開展半導(dǎo)體材料的電阻性能的測試,。壓力表取針器由四探針測試儀和非晶硅薄膜電導(dǎo)率測量儀組成,。四探針測試儀由主機、測試架等部分組成,,測試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示,。主機主要由高靈敏度直流數(shù)字電壓表和高穩(wěn)定度飛灰采樣器
恒流源組成。非晶硅薄膜電導(dǎo)率測量儀由樣品室,、溫控系統(tǒng),、真空系統(tǒng),、高阻測量系統(tǒng)等部分組成。
測量范圍:
電阻范圍:1×106~1×1017Ω,;
電 阻 率:0.001~200Ωcm
電 導(dǎo) 率:0.005~1000s/cm
可測晶片直徑: 200mmX200mm
探    針:碳化鎢或高速鋼
探針間距:1±0.01mm
針間緣電阻:≥1000MΩ
機械游移率:≤0.3%
本底真空度:≤10Pa
氣壓可控范圍:10~400Pa
襯底加熱 溫度:室溫~200℃
www.ghitest.com 


 

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