太陽能 硅片壽命 配已知壽命樣片,、配數(shù)字示波器,、噴墨打印機(jī) 產(chǎn)品簡(jiǎn)介 我公司為解決太陽樹脂動(dòng)態(tài)粘度計(jì)能單晶,、多晶少子壽命測(cè)量,,特按照國(guó)標(biāo)GB/T1553及SEMI MF-1535用高頻光電導(dǎo)法研制出了數(shù)字式少子壽命測(cè)試儀,。 該設(shè)備是按照標(biāo)準(zhǔn)GB/T1553“硅單晶少數(shù)載流子壽命測(cè)定的高頻光電導(dǎo)衰減法”設(shè)計(jì)制造,。高頻光電導(dǎo)衰減法在我國(guó)半導(dǎo)體集成電路,、晶體管、整流器件,、核探測(cè)器行業(yè)已運(yùn)用了三十多年,,積累了豐富的使用經(jīng)驗(yàn),經(jīng)過數(shù)次十多個(gè)單位巡回測(cè)試的考驗(yàn),,證明是一種成定性測(cè)試紙熟的測(cè)試方法,,適合于硅塊、硅棒研磨面的少子體壽命測(cè)量,;也可對(duì)硅片進(jìn)行測(cè)量,,給出相對(duì)壽命值。方法本身對(duì)樣品表面的要求為研磨面,,制樣簡(jiǎn)便,。 LT-100C數(shù)字式硅晶體少子壽命測(cè)試儀有以下特點(diǎn): 1、可測(cè)量太陽能多晶硅塊,、單晶硅棒少數(shù)載流子體壽命,。表面拋光,直接對(duì)切割面或研磨面進(jìn)行測(cè)量,。同時(shí)可測(cè)量多晶硅檢驗(yàn)棒及集成電路,、整流器,、晶體管硅單晶的少子壽命。 2,、可測(cè)量太陽能單晶及多晶硅片少數(shù)載流子的相對(duì)壽命,,表面拋光、鈍化,。 3,、配備軟件的數(shù)字示波器,液晶屏上直接顯示少子壽命值,,同時(shí)顯示動(dòng)態(tài)光電導(dǎo)衰退波形,,并可聯(lián)用打印機(jī)及計(jì)算機(jī)。 4,、配置兩種波長(zhǎng)的紅外光源: a,、紅外光源,光穿透硅晶體深度較深≥500μm,,有利于準(zhǔn)確測(cè)量晶體少數(shù)載流子體壽命,。 b、短波長(zhǎng)紅外脈沖激光器,,光穿透硅晶體深度較淺≈30μm,,但光強(qiáng)較強(qiáng),有利于測(cè)量低阻太陽能硅晶體,。 5,、測(cè)量范圍寬廣 測(cè)試儀可直接測(cè)量: a、研磨或切割面:電阻率≥0.3Ω?㎝的單晶硅棒,、定向結(jié)晶多晶硅塊少子體壽命,,切割片的少子相對(duì)壽命。 b,、拋光面:電阻率在0.3~0.01Ω?㎝范圍內(nèi)的硅單晶,、鍺單晶拋光片。 壽命可測(cè)范圍 0.25μS—10ms www.centrwin.com |  |