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箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī) 型號：ZH5496
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訪問次數(shù)：967更新時間：2024-11-23 07:54:30
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產(chǎn)品介紹
| 箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī) 型號：ZH5496 | 貨號：ZH5496 |
| 產(chǎn)品簡介 適用于制備導(dǎo)電薄膜，半導(dǎo)體薄膜,、鐵電薄膜,、光學(xué)薄膜，高性燒結(jié)車掃描測溫云臺能薄膜研究及新材料工作,。其主要特點(diǎn)為功能強(qiáng),、鍍膜穩(wěn)定、重復(fù)性好,、操作簡便,。 主要參數(shù) 1、鍍膜室體積：500×500×600mm3,，規(guī)格可定做,； 2,、限真空度：6.7×10-5 Pa，恢復(fù)真空：從大氣抽至6.7×10-4 Pa ≤（40分鐘）,； 3,、真空抽氣系統(tǒng)：機(jī)械泵與復(fù)合分子泵組成；真空測量系統(tǒng)：復(fù)合數(shù)顯真空計,； 4,、蒸發(fā)源：電子束蒸發(fā)源：270°E型電子槍及高壓電源，電子槍表面粗糙度樣板功率0～6KW可調(diào),； 電阻蒸發(fā)源：銅水冷電4根,，功率：3kW/10V兩組； 5,、結(jié)構(gòu)形式：立式前開門后置抽氣系統(tǒng),； 6、工件烘烤溫度：室溫～800℃可控可調(diào)（PID控溫）,； 7,、旋轉(zhuǎn)夾具：公轉(zhuǎn)或行星公自轉(zhuǎn)夾具。速度從 0r～30r/min 可調(diào),； 8,、選配件：光學(xué)膜厚測量系統(tǒng)、石英晶振測厚儀,、高壓離子轟擊,、霍爾離子源、冷卻水機(jī)組等,； 9,、供電電源：三相AC380V，50Hz,；整機(jī)功率22KW,。 www.ghitest.com |  |
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