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多功能微波等離子體實(shí)驗(yàn)裝置 型號(hào)：ZH5501
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訪問(wèn)次數(shù)：1056更新時(shí)間：2024-11-23 07:44:43
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產(chǎn)品介紹
| 多功能微波等離子體實(shí)驗(yàn)裝置 型號(hào)：ZH5501 | 貨號(hào)：ZH5501 |
| 產(chǎn)品簡(jiǎn)介 自然界中物質(zhì)的形態(tài)除了固,、液,、氣三種形態(tài)之外，還存在第四態(tài),，即等離子體狀態(tài),。等離子體的產(chǎn)生過(guò)程為：固體物質(zhì)在受熱的情況下熔化成液體,，液體進(jìn)一步受熱后變成氣體，氣體進(jìn)一步受熱后,，中性的原子和分子表面粗糙度樣板電離成離子和電子,，形成等離子體。由于等離子體中含有大量具有高能量的活性基團(tuán),，這使得等離子體能夠參與或發(fā)生許多不同的化學(xué)或物理反應(yīng),。 本裝置是我公司和武漢工程大學(xué)等離子體化學(xué)與新材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合研制。由微波源,、真空系統(tǒng),、供氣系統(tǒng)、冷卻水系統(tǒng),、微波傳輸及微波諧振腔組成,；由微波源產(chǎn)生的頻率為2.45GHz的微波，沿矩形波導(dǎo)管傳輸,，經(jīng)過(guò)調(diào)整短路活塞,，zui后在水冷諧振腔反應(yīng)室內(nèi)激勵(lì)氣體形成軸對(duì)稱的等離子體球,。 可開設(shè)的實(shí)驗(yàn)： 在基材（如硅片）上完成微波等離子體化學(xué)氣相沉積法制備種功能薄膜材料（如BN薄膜,、金剛石薄膜、氮化碳薄膜等）,、微波等離子體刻蝕加工實(shí)驗(yàn),、材料表面改性,、微波等離子體清洗材料表面、微波等離子體化學(xué)合成等實(shí)驗(yàn),；適合大學(xué)物理,、材料、化學(xué)等領(lǐng)域的學(xué)生實(shí)驗(yàn)及教師,。培養(yǎng)學(xué)生掌握等離子體的應(yīng)用,。 本裝置需另配光學(xué)顯微鏡、超聲波清洗機(jī),、氣源,。隨機(jī)配備基材、金剛石微粉,。 主要特點(diǎn)： 1 內(nèi)部電,，可避免放電污染，運(yùn)行氣壓范圍寬,，能量轉(zhuǎn)換效率高,，可產(chǎn)生大范圍的高密度等離子體。 2 設(shè)有垂直交叉的兩個(gè)方向的透明觀察窗，可直觀觀察等離子體的放電特性,。 3 微波等離子體刻蝕精度達(dá)到亞微米,。制備種功能薄膜材料的速率較快。 主要參數(shù)及性能： 1,、微波源：功率0~800W連續(xù)可調(diào)輸出,； 2、真空系統(tǒng)：采用旋片真空泵,，單相220V交流電源,，限真空6×10-1帕，抽速2升/秒,；真空計(jì)采用數(shù)顯壓阻式真空計(jì)和熱偶真空計(jì)聯(lián)合作用,，用于測(cè)量本底真空和工作時(shí)的工作氣壓。真空密封采用金屬和橡膠密封,；真空調(diào)節(jié)采用隔膜閥粗調(diào)和微調(diào)閥精細(xì)調(diào)節(jié),，調(diào)節(jié)快速方便、穩(wěn)定性好,。 3,、供氣系燒結(jié)車掃描測(cè)溫云臺(tái)統(tǒng)：有兩路立供氣氣路，通過(guò)轉(zhuǎn)子流量計(jì)控制流量,。 4,、自帶冷卻水循環(huán)系統(tǒng)形成冷卻水。制冷系統(tǒng)可冷卻水溫度在30度以下,，水源要求,。 5、微波傳輸及微波諧振腔：配有環(huán)行器,、水負(fù)載和三螺釘阻抗調(diào)配器,，可微波源的工作；配有微波反射測(cè)量系統(tǒng),，等離子體zui大限度地吸收微波能,。反應(yīng)室工作壓強(qiáng)：幾帕～十千帕；反應(yīng)室限壓強(qiáng)：6×10-1帕,；真空反應(yīng)室石英管腔體尺寸：Φ50mm,；基片溫度范圍：200～1000℃；電磁波功率：0～800W,；接地線＜3Ω。 www.ghitest.com |  |
