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激光干涉儀的產(chǎn)品特點(diǎn)和維護(hù)保養(yǎng)
激光干涉儀是以激光波長為已知長度,，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。
激光干涉儀的特點(diǎn)：
1. 同時(shí)測量線性定位誤差,、直線度誤差（雙軸）,、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角,；
2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器,；
3. 可選的無線遙控傳感器zui長的控制距離可到25米；
4. 可測量速度,、加速度,、振動(dòng)等參數(shù)，并評估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性,；
5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤,，設(shè)計(jì)緊湊、體積小,，測量機(jī)床時(shí)不需三角架；
6. 集成干涉鏡與激光器于一體,，簡化了調(diào)整步驟,，減少了調(diào)整時(shí)間。
激光干涉儀的保養(yǎng)與維護(hù)：
1,、儀器應(yīng)妥善地放在干燥,、清潔的房間內(nèi)，防止振動(dòng),，儀器搬動(dòng) 時(shí),，應(yīng)托住底座，以防導(dǎo)軌變形,；
2,、光學(xué)零件不用時(shí)，應(yīng)存放在清潔的干燥盆內(nèi),，以防止發(fā)霉,。反光鏡、分光鏡一般不允許擦拭,，必要擦拭時(shí),，須先用備件毛刷小心撣去灰塵，再用脫脂清潔棉花球滴上酒精和混合液輕拭,；
3,、傳動(dòng)部件應(yīng)有良好的潤滑。特別是導(dǎo)軌,、絲桿,、螺母與軸孔部分,，應(yīng)用T5精密儀表油潤滑,；
4,、使用時(shí),，各調(diào)整部位用力要適當(dāng),，不要強(qiáng)旋,、硬扳；
5,、導(dǎo)軌面絲桿應(yīng)防止劃傷,、銹蝕，用畢后,，仍保持不失油狀態(tài)；
6,、 經(jīng)過精密調(diào)整的儀器部件上的螺絲，都涂有紅漆,，不要擅自轉(zhuǎn)動(dòng),。