（一）主要配置：
1,、微波頻率2.45GHz；足額功率0～500W（基本型）或0～1000W（升級型）連續(xù)可調(diào),，陽*壓,、陽極電流足額顯示；
2,、Φ50mm（基本型）或Φ90mm（升級型）石英管真空室,，有一個觀察窗和一個診斷窗；
3,、石英管采用制冷循環(huán)水冷卻,，保證裝置安全運行。
4,、配有真空測量及控制閥門系統(tǒng),；3路工作氣體流量控制；
（二）典型實驗：
1,、等離子體化學氣相沉積,。A（氣）+B（氣）→C（固）+D（氣）。
反應氣體A,、B被激發(fā)為等離子狀態(tài),，其活性基團發(fā)生反應生成所需要的固態(tài)物沉積在基片上，可廣泛用于薄膜或納米材料的合成,。如金剛石薄膜,、碳納米材料等。
2,、等離子體表面刻蝕,。A（氣）+B（固）→C（氣）,。反應氣體A被激發(fā)為等離子體狀態(tài)與固體B表面原子發(fā)生反應生成氣態(tài)物C，可用于集成電路的刻蝕實驗,。
3,、等離子體催化反應。等離子體中具有豐富的活性成分,，如紫外和可見光子,、電子、離子,、自由基,，高反應性的中性成分如活性原子、受激原子態(tài),，從而可以引發(fā)在常規(guī)化學中不能或很難實現(xiàn)的化學反應,。
4、等離子體表面改性,。A（氣）+B（固）→C（固）,。反應氣體A被激發(fā)為等離子體狀態(tài)，與固體B表面發(fā)生反應,，生成新的化合物,，從而達到改變B物質(zhì)表面性質(zhì)的目的。廣泛用于高分子材料,、金屬材料,、生物醫(yī)用材料的表面改性。
（三）產(chǎn)品特色：
1,、 微波系統(tǒng)設(shè)計嚴謹,，加工精良，運行時微波準零泄漏,，確保使用者人身安全,；
2、 微波功率充足,，等離子效應強勁,，作用效果良好；陽極電壓電流足額顯示,。
3、 樣品臺升降架精巧豪華,，方便調(diào)諧和樣品取放,；
4、 樣品臺可加熱或冷卻,，有利于控制反應過程,。
5,、制冷循環(huán)水系統(tǒng)踐行環(huán)保理念，避免用長流水費水擾民,。
6,、循環(huán)水機可聯(lián)機使用、可獨立使用,，提高了投資效益,；
7、缺水時啟動高壓或正常工作時斷水,，系統(tǒng)會斷電并報警,；
8、真空泵排氣口接有油霧過濾器,，保護環(huán)境,；
9、電控系統(tǒng)功能完善,、操作靈便,、指示醒目；
10,、整機造型典雅大氣,。
（四）輔助設(shè)備與耗材（主要由客戶另購）：
超聲清洗機、1000×金相顯微鏡,；硅片,、金剛石微粉、氫氣,、甲烷,、甲 / 乙醇、玻璃基襯底的碳膜,、模板,、石英管 / 板等。
（五）特殊配置（客戶提出要求,本廠設(shè)計制作,費用雙方協(xié)商）：
1,、異型基片臺（樣品臺） （參考價￥220）
2,、上置疹斷探針（帶透明觀察窗） （參考價￥360）
3、可加熱可測溫的基片臺——可水冷可
出接線端子的基片臺支柱——寬行程
精巧豪華升降架——下法蘭（總成） （參考價￥6800）
4,、基片臺加熱及溫度測控儀 （參考價￥1100）
5,、可水冷的基片臺（帶升降架總成） （參考價￥3600）
6、光學鏡頭（用于聯(lián)接光譜儀,、光度計等） （參考價￥1500）
7,、客戶提出需求的其它配置 （另議）
