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上海雙旭電子有限公司
中級(jí)會(huì)員 | 第16年

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DH-500JJC型多靶磁控濺射鍍膜機(jī)DH500JJC生產(chǎn)廠家

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)DH-500JJC

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地上海市

更新時(shí)間：2016-08-25 13:40:23瀏覽次數(shù)：3010次

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DH-500JJC型多靶磁控濺射鍍膜機(jī)DH500JJC生產(chǎn)廠家該鍍膜機(jī)主要用于科研實(shí)驗(yàn),，可制備納米級(jí)和微米級(jí)的單層及多層功能膜-各種硬質(zhì)膜,、光學(xué)膜、金屬膜,、鐵磁薄膜,、半導(dǎo)體膜、介質(zhì)膜和氧化物薄膜等多種薄膜,。

DH-500JJC型多靶磁控濺射鍍膜機(jī)DH500JJC生產(chǎn)廠家

該鍍膜機(jī)主要用于科研實(shí)驗(yàn),，可制備納米級(jí)和微米級(jí)的單層及多層功能膜-各種硬質(zhì)膜、光學(xué)膜,、金屬膜,、鐵磁薄膜、半導(dǎo)體膜,、介質(zhì)膜和氧化物薄膜等多種薄膜,。

　　該鍍膜機(jī)為前開門式設(shè)計(jì)，功能強(qiáng),、鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定,、重復(fù)性好、操作簡便,。真空室材料均采用優(yōu)良材質(zhì)SUS304 不銹鋼材料制造,，工藝規(guī)范、精致,，保證了材料的成膜純度,。

　　采用分子泵+直聯(lián)機(jī)械泵機(jī)組,，具有抽速快、無油,、操作方便快捷,、易于維護(hù)的特點(diǎn)。

　　◆ 鍍膜方式：可實(shí)現(xiàn)多靶共濺模式,；

　　◆ 磁控靶：圓柱/平面靶,；

　　◆ 進(jìn)氣系統(tǒng)：三路質(zhì)量流量計(jì)；

　　◆ 鍍膜室體積：500mm*500mm*600mm,；

　　◆ 極限真空度：5X10-5 Pa,，恢復(fù)真空：從大氣抽至6.7X10-4 Pa （40分鐘）；

　　◆ 真空抽氣系統(tǒng)：機(jī)械泵與分子泵組成,；

　　◆ 真空測量系統(tǒng)：數(shù)顯復(fù)合真空計(jì),；

　　◆ 工作電源：直流電源500W；射頻電源500W（13.56MHz）,；加熱控溫電源,；

　　◆ 工件烘烤溫度：室溫～800℃可控可調(diào)(PID控溫)；

　　◆ 選配件：石英晶振測厚儀,、冷卻水機(jī)組等,；

　　◆ 供電電源：三相AC380V，50Hz,。

　　◆ 特殊規(guī)格可定制,。

 

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