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產(chǎn)品型號DH-500ZZS
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地上海市
更新時間:2016-08-25 13:42:32瀏覽次數(shù):2986次
聯(lián)系我時,請告知來自 化工儀器網(wǎng)DH-500ZZS型箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機DH500ZZS使用說明書
該鍍膜機為前開門箱式電子束蒸發(fā)鍍膜設備,,該鍍膜機功能強,、鍍膜質(zhì)量穩(wěn)定、重復性好,、操作簡便,。適用于制備導電薄膜,,半導體薄膜,、鐵電薄膜、光學薄膜,,高性能薄膜研究及新材料科學研究工作,。
鍍膜機的真空室材料均采用優(yōu)良材質(zhì)SUS304 不銹鋼材料制造,工藝規(guī)范,、精致,,具有高真空度、高清潔度,,可以保證材料的成膜純度,。
采用大抽速的變頻控制分子泵+直聯(lián)機械泵機組,具有抽速快,、無油,、操作方便快捷、易于維護的特點,。配備270°E型電子束蒸發(fā)源,,電源穩(wěn)定,控制精度高,,帶有高壓自動滅弧復位裝置,,操做簡便,性能可靠,。
適合大學物理,、材料,、化學等領域的學生實驗及教師科學研究。
◆ 鍍膜室體積:500mmX500mmX600mm,;
◆ 極限真空度:6.7X10-5 Pa,,恢復真空:從大氣抽至6.7X0-4 Pa (40分鐘);
◆ 真空抽氣系統(tǒng):機械泵與分子泵組成,;
◆ 真空測量系統(tǒng):數(shù)顯復合真空計,;
◆ 蒸發(fā)源:電子束蒸發(fā)源:E型電子槍,功率0~6KW可調(diào),;電阻蒸發(fā)源:功率3kW/10V兩組,;
◆ 工件烘烤溫度:室溫~350℃可控可調(diào)(PID控溫);
◆ 選配件:光學膜厚測量儀,、石英晶振測厚儀,、高壓離子轟擊、霍爾離子源,、冷卻水機組等,;
◆ 供電電源:三相AC380V,50Hz,。
◆ 特殊規(guī)格可定制,。
DH-500ZZS型箱式電子束蒸發(fā)鍍膜機DH500ZZS使用說明書
LDZX-75KAS LDZX-75KB LDZX-50KAS LDZX-50FB LDZX-50FA YA.ZD-20 YA.ZD-5 CH1006 TU-100C DU-20 HHS-21-6 HH.S11-8 B-220 HH.S11-1
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