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DH-900DZX箱式多弧磁控鍍膜機DH900DZX使用說明書
該鍍膜機可鍍制不銹鋼,、鉻、鈦,、鎢等多種金屬,，也可鍍制合金膜或化合物，也可在工件表面上鍍制單層或多層介質膜或金屬 ZrN,、TiCN,、TiAlN 等硬質或裝飾涂層，具有鍍膜速度快,、膜層質量好的優(yōu)點,。
◆ 真空室：鍍膜室尺寸900mm×900mm×1000mm；箱式,、前開門結構,；
◆ 抽氣系統(tǒng)：機械泵：前級泵70L/S；維持泵：2X-8旋片泵,；羅茨泵：ZJP-150,； 擴散泵：KT-500 ；分子泵: FF250/1600（選配）,；
◆ 極限真空：5×10-4Pa,；恢復真空：5×10-3 Pa（小于20min）；
◆ 鍍膜系統(tǒng)：平面磁控靶或圓柱磁控靶/直流功率源或中頻功率源,；小弧源/柱弧源,；
◆ 輔助鍍膜系統(tǒng)：脈沖偏壓電源，條形離子源（選配）,；
◆ 膜厚測量系統(tǒng)：石英晶體膜厚監(jiān)控系統(tǒng)（選配）,；
◆ 進氣系統(tǒng)：自動壓強控制+多路質量流量控制系統(tǒng)；
◆ 操作方式：手動按鍵式,；控制系統(tǒng)配置：研華工控機,，80G硬盤，512內存+日本三菱PLC,；10英寸液晶顯示觸摸屏界面,；
◆ 旋轉夾具：公轉/自轉夾具，速度從 0～15r/min 無級可調,；
◆ 工件烘烤：室溫～300℃,；
◆ 供電電源: 三相380V，50Hz。
◆ 特殊規(guī)格可定制,。
DH-900DZX箱式多弧磁控鍍膜機DH900DZX使用說明書
TU-10 DU-20 HH.S21-4 HH.S11-2 HH.S11-2-S HH.S21-6-S HH.S21-8-S WZZ-1 HH.S21-4-S DZKW-D-4 DZKW-D-4 DZKW-D-4 DZKW-D-4 DZKW-D-2
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