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恒溫真空勻膠機/控溫型勻膠機/真空勻膠烤膠機Spin Coater 

恒溫真空勻膠機烤膠機Spin Coater 產(chǎn)品簡介： 
主要用于液體,，膠體在材料表面薄膜的形成，適用于硅片,，晶片,，玻璃，陶瓷等制版表面涂覆工藝,?？稍诳蒲校逃?，生產(chǎn)中應(yīng)用,。 

可以完成有機物的勻膠。（攝氏溫度200度以下）,。 

完成勻膠時,，還可以完成烤膠。 

采用空間式加熱的控溫型勻膠機,，可以進(jìn)行邊加熱邊旋轉(zhuǎn)的控溫勻膠操作,，對提高膠體流動性，加速溶劑揮發(fā),，勻膠后直接烤膠等操作提供了便利的解決方案,。

控溫精度高、重復(fù)性好,，技術(shù)*,，性能優(yōu)良。

    標(biāo)配4英寸真空吸盤,，加熱速度快,，控溫精度高。不同尺寸基片為保證緊密接觸加熱轉(zhuǎn)盤,，可定制設(shè)計更換,。

恒溫真空勻膠機烤膠機Spin Coater 特性：

1、空間式恒溫加熱,，室溫-200℃,。精度0.1℃

2,、可以完成有機物的勻膠。（攝氏溫度200度以下）

 完成勻膠時,，還可以完成烤膠,。

3、可設(shè)定存儲26個不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程,。

4,、每個涂敷工藝過程可以設(shè)置51步不同的速度狀態(tài),；

5,、可以控制加速度

6、平穩(wěn)轉(zhuǎn)速,，預(yù)設(shè)值與實際值誤差率1‰,。有視頻為證（如想觀看視頻，請聯(lián)系我）

7,、端跳1mm的±2.5％

主要特點： 
高精度多程序控制器： 

可設(shè)定存儲26個不同樣片的旋轉(zhuǎn)涂敷工藝過程,。 

每個涂敷工藝過程可以設(shè)置25步不同的勻速度狀態(tài)； 

加速度及負(fù)加速度可自主控制,。 

液晶顯示屏可以實時顯示： 
      1.    第N個涂敷工藝過程 
      2.    所處工作段 
      3.    真空吸片狀態(tài),。 
      4.    設(shè)置時間；及實時運行時間,。 
      5.    設(shè)置速度,；及實時速度狀態(tài)。 

中英文兩套操作系統(tǒng)供選擇,。 

人機交互式對話,，簡潔，明了,。 

儀器真空吸片系統(tǒng)更安全： 
旋涂儀安裝有真空度傳感器,，涂敷工作過程電腦實時檢測系統(tǒng)真空度， 
必須在安全的真空度下,，電機啟動,，運行。保障可靠吸片,，不飛片,。 

頻伺服電機，轉(zhuǎn)速精度更高： 
300 - 10000轉(zhuǎn)/分,，轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性：+ - 0.1 % 
轉(zhuǎn)速10000轉(zhuǎn)/分 

不銹鋼機殼 聚四氟（塑料王）材質(zhì)工作腔  
不銹鋼機殼,，外表面潔凈光亮。美觀,，方便清洗,。 

溫度控制系統(tǒng) ：
       工作腔內(nèi)板式加熱體，加熱均勻。 
       控制溫度范圍：室溫--攝氏溫度200度,。 
 聚四氟（塑料王）材質(zhì)工作腔 

技術(shù)參數(shù)： 
     單相交流電源：220V.50Hz 
     電機功率：150W 
    旋轉(zhuǎn)真空吸盤直徑：4英寸（102mm,，標(biāo)準(zhǔn)配置） 
     可選擇配置：基片直徑10—200mm可接受訂貨。 
     轉(zhuǎn)數(shù)：300 - 10000轉(zhuǎn)/分,。 
     可設(shè)定時間：1---9999秒,。 
     控制溫度：室溫--攝氏溫度200度。 
     控制精度：1攝氏度 
 

標(biāo)準(zhǔn)包裝： 
結(jié)構(gòu)尺寸：260mm寬x 350mm深x 260 mm高, 
可選配件：

1,、60升/分有油真空泵 

2,、特殊真空吸盤 

3、70升/分無油真空泵