X射線熒光光譜儀能應(yīng)用的行業(yè)還是比較廣泛的,。類似于環(huán)境評估,、制造業(yè)的檢測、采礦和材料成分辨別等等,，幾乎適用于工業(yè)領(lǐng)域的所有內(nèi)容,。像我們用的是奧林巴斯X射線熒光光譜儀還是很不錯的，比較耐用,，而且產(chǎn)品功能還挺多的，能夠應(yīng)用于各類精細檢測,，挺好的,。
X射線熒光光譜儀基本原理：
X熒光光譜儀應(yīng)用范圍X熒光光譜儀根據(jù)各元素的特征X射線的強度，也可以獲得各元素的含量信息,。 近年來,，X熒光光譜分析在各行業(yè)應(yīng)用范圍不斷拓展，已成為一種廣泛應(yīng)用于冶金,、地質(zhì),、有色、建材,、商檢,、環(huán)保、衛(wèi)生等各個領(lǐng)域,，特別是在RoHS檢測領(lǐng)域應(yīng)用得zui多也zui廣泛,。 大多數(shù)分析元素均可用其進行分析，可分析固體,、粉末,、熔珠,、液體等樣品，分析范圍為Be到U,。并且具有分析速度快,、測量范圍寬、干擾小的特點,。二,、X熒光光譜儀技術(shù)原理X熒光光譜儀（XRF）由激發(fā)源（X射線管）和探測系統(tǒng)構(gòu)成。X射線管產(chǎn)生入射X射線（一次X射線）,，激發(fā)被測樣品,。受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性,。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量,。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量,。
當能量高于原子內(nèi)層電子結(jié)合能的高能X射線與原子發(fā)生碰撞時,，驅(qū)逐一個內(nèi)層電子而出現(xiàn)一個空穴，使整個原子體系處于不穩(wěn)定的激發(fā)態(tài),，激發(fā)態(tài)原子壽命約為10-12-10-14s,，然后自發(fā)地由能量高的狀態(tài)躍遷到能量低的狀態(tài)。這個過程稱為馳豫過程,。馳豫過程既可以是非輻射躍遷,，也可以是輻射躍遷。當較外層的電子躍遷到空穴時,，所釋放的能量隨即在原子內(nèi)部被吸收而逐出較外層的另一個次級光電子,，此稱為俄歇效應(yīng)，亦稱次級光電效應(yīng)或*效應(yīng),，所逐出的次級光電子稱為俄歇電子,。它的能量是特征的，與入射輻射的能量無關(guān),。當較外層的電子躍入內(nèi)層空穴所釋放的能量不在原子內(nèi)被吸收,，而是以輻射形式放出，便產(chǎn)生X射線熒光,，其能量等于兩能級之間的能量差,。因此，X射線熒光的能量或波長是特征性的,，與元素有一一對應(yīng)的關(guān)系,。
K層電子被逐出后,其空穴可以被外層中任一電子所填充，從而可產(chǎn)生一系列的譜線,，稱為K系譜線：由L層躍遷到K層輻射的X射線叫Kα射線,由M層躍遷到K層輻射的X射線叫Kβ射線……,。同樣,L層電子被逐出可以產(chǎn)生L系輻射(見圖10.2),。如果入射的X射線使某元素的K層電子激發(fā)成光電子后L層電子躍遷到K層，此時就有能量ΔE釋放出來,，且ΔE=EK-EL,，這個能量是以X射線形式釋放，產(chǎn)生的就是Kα射線,，同樣還可以產(chǎn)生Kβ射線,，L系射線等。莫斯萊(H.G.Moseley) 發(fā)現(xiàn),，熒光X射線的波長λ與元素的原子序數(shù)Z有關(guān),，其數(shù)學(xué)關(guān)系如下：
λ=K(Z-s)-2
這就是莫斯萊定律，式中K和S是常數(shù),，因此,只要測出熒光X射線的波長,就可以知道元素的種類,這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ),。此外,熒光X射線的強度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系，據(jù)此,，可以進行元素定量分析,。
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