針對(duì)目前勻膠機(jī)市場(chǎng)品牌眾多,，良莠不齊現(xiàn)象,，筆者結(jié)合自己多年從事勻膠機(jī)技術(shù)服務(wù)的實(shí)際經(jīng)驗(yàn)。幫助廣大用戶提高辨別能力,，為用戶提供了直觀明確的選擇標(biāo)準(zhǔn),。

從其原理來說，我們可以看出選購(gòu)勻膠機(jī)需要注意的幾個(gè)細(xì)節(jié)“

1,、 旋轉(zhuǎn)速度：轉(zhuǎn)速的快慢和控制精度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性,。如果標(biāo)示的轉(zhuǎn)速和電機(jī)的實(shí)際轉(zhuǎn)速如果誤差很大，對(duì)于要求精密涂覆的科研人員來說是無法獲得準(zhǔn)確的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的,。國(guó)產(chǎn)的某些勻膠機(jī)只能提供轉(zhuǎn)速范圍,，并不能標(biāo)定實(shí)時(shí)的轉(zhuǎn)速。進(jìn)口的勻膠機(jī)雖然大部分能標(biāo)定轉(zhuǎn)速,，但是大部分轉(zhuǎn)速精度沒有標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)定,。建議購(gòu)買轉(zhuǎn)速控制方面有認(rèn)定標(biāo)準(zhǔn)的，比如：美國(guó)NIST標(biāo)準(zhǔn)等,。

2,、 真空吸附系統(tǒng)的構(gòu)造

真空泵一定要無油的，壓力標(biāo)定準(zhǔn)確,，國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的無油真空泵實(shí)在不敢恭維,。因?yàn)槿魏蔚挠臀鄱伎赡芏氯婵展艿溃绻婵瘴搅档?，?huì)導(dǎo)致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片”的情況,，還會(huì)讓滴膠液不慎進(jìn)入真空管道系統(tǒng)造成*堵塞。用過國(guó)產(chǎn)勻膠機(jī)的客戶常常會(huì)關(guān)心怎么清洗的問題,，這一點(diǎn)許多國(guó)外的勻膠機(jī)做得不錯(cuò),，他們有通過聯(lián)動(dòng)機(jī)制，如果真空吸附力不夠的時(shí)候,，不會(huì)開始旋轉(zhuǎn),。

3、 材質(zhì)的選擇

對(duì)于半導(dǎo)體化工行業(yè)的應(yīng)用來說,，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵,，大部分勻膠機(jī)采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因?yàn)檫@種材質(zhì)的成本很低,，不銹鋼的對(duì)于各類化工膠液的抗腐蝕性不太好,，塑料對(duì)于較高溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤的位置失去水平的話,，將會(huì)導(dǎo)致旋涂時(shí),，時(shí)高時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無法得到好的旋涂效果,。例如美國(guó)[2]等型號(hào)都是采用天然聚丙烯（NPP）或者聚四氟乙烯（特氟隆,PTFE）材質(zhì),。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保,、節(jié)約資源、重量輕,、強(qiáng)度大,、抗沖擊性能好、堅(jiān)固耐用,、花紋自然,、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。

文章關(guān)鍵詞：勻膠機(jī)