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GS-30-700-廣樹GS模壓玻璃鏡片碳鍍膜機(jī)
【產(chǎn)品簡介】
主要用途
■適用于模壓非球面光學(xué)玻璃鏡片的碳鍍膜工藝;
■適應(yīng)于半導(dǎo)體行業(yè)晶圓表面薄膜生長,;
■可用于陶瓷及單晶體表面沉積碳納米管工藝,;
【詳細(xì)說明】
廣樹GS模壓玻璃鏡片碳鍍膜機(jī)特點(diǎn):
采用多層隔板設(shè)計(jì),,批量處理模壓光學(xué)鏡片的碳鍍膜工藝,每爐可放數(shù)千個(gè)鏡片;
智能化PLC程序升溫程序,,真空程序,,CVD進(jìn)氣程序,操作簡單方便,;
優(yōu)質(zhì)干式真空泵,,杜絕油液污染,可選擇國產(chǎn)干式泵和進(jìn)口干式泵,;
智能化CVD進(jìn)氣控制系統(tǒng),,適應(yīng)于氮?dú)狻⒁胰?甲烷,、氬氣,、空氣的通入和混合;
先進(jìn)的密封系統(tǒng),,泄漏率低,,長期使用穩(wěn)定性高;
廣樹GS模壓玻璃鏡片碳鍍膜機(jī)詳細(xì)資料:
主要用途
適用于模壓非球面光學(xué)玻璃鏡片的碳鍍膜工藝,;
適應(yīng)于半導(dǎo)體行業(yè)晶圓表面薄膜生長,;
可用于陶瓷及單晶體表面沉積碳納米管工藝;
產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)品型號(hào):GS-30-700廣樹
最高溫度: 700℃,;
使用氣氛: 氮?dú)?、氬氣、空氣,、二氧化?/span>、乙炔,、甲烷,、合氣體;
長期使用:400-700℃,;
波 動(dòng) 度: ±1℃,;
顯示精度: 0.1℃;
均 勻 度: 容積30L,;
進(jìn)氣流量:三路MFC質(zhì)量流量計(jì)控制,,一路浮子流量計(jì)控制;
升降系統(tǒng): 兩套伺服升降系統(tǒng)平臺(tái),;
控制系統(tǒng):智能程序化PLC控制系統(tǒng),;
真空泵真空度: 極限真空1Pa;
腔內(nèi)真空度:≤10Pa,;
降溫要求:外置冷卻風(fēng)機(jī),,降溫階段強(qiáng)制降溫;
整機(jī)功率: 18KW;
電 源 : 380V, 50Hz,;
水冷裝置:優(yōu)質(zhì)水冷機(jī),PLC聯(lián)機(jī)控制
保護(hù)裝置: 過載,、過流、過壓保護(hù),,接地,,熱電偶異常報(bào)警,第二回路超溫報(bào)警保護(hù)裝置,;冷
力過載保護(hù),;
技術(shù)服務(wù): 提供設(shè)備使用過程中的技術(shù)咨詢和支持,接到客戶故障通知3個(gè)工作時(shí)內(nèi)立即響應(yīng)