名稱：低濃度氧化鋯氧分析儀（日本橫河） 
型號(hào)：OX400-3-PT-E-H  
  
低濃度氧化鋯氧分析儀OX400-3-PT-E-H儀器資料： 
  
    氧化鋯傳感器中采用了新型薄膜沉積技術(shù)，在氧化鋯元素和鉑層間建立了分子聯(lián)接,。這樣不僅預(yù)防剝離,，還可以減小傳感器尺寸，確保高速響應(yīng)和長(zhǎng)壽命,。
OX400可用于控制和監(jiān)視各種半導(dǎo)體應(yīng)用,，并控制環(huán)境，空氣泄漏入惰性氣體及其他過(guò)程,。

用于半導(dǎo)體擴(kuò)散爐和烘干爐,，以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制 用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度，以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產(chǎn)工藝中氧氣濃度的測(cè)量 測(cè)量氧氣濃度,，防止粉塵運(yùn)輸中粉塵爆炸

OX400-3-PT-E-H特性
#使用壽命長(zhǎng),，響應(yīng)速度快

--由于使用了橫河電機(jī)的新型薄膜沉積技術(shù)，傳感器的壽命周期提高了三倍

--圓柱形傳感器設(shè)計(jì)便于置換被測(cè)氣體,，確保高速響應(yīng)

#高性能和高可靠性

--即使在低氧濃度下,，仍具有*的精度和線性

--在不同應(yīng)用中，可選擇泵式或抽提采樣方式

#內(nèi)置功能和多種自診斷功能

--自帶多選擇器,，自動(dòng)量程,，特定量程以及泵開(kāi)/關(guān)功能

--提供多種自診斷功能，以檢測(cè)故障,，如加熱器溫度錯(cuò)誤,，溫度傳感器斷偶和傳感器電阻值錯(cuò)誤

#出眾的維護(hù)性

-- 可現(xiàn)場(chǎng)更換傳感器

--小型輕量，易于安裝

OX400-3-PT-E-H規(guī)格
測(cè)量對(duì)象 惰性氣體中的氧氣濃度
（易燃性氣體、二氧化硅,、腐蝕性氣體或液體（包括水蒸氣）除外）
測(cè)量系統(tǒng) 氧化鋯系統(tǒng)
采樣方法 泵式,，抽提式等
樣氣條件 流速: 200 ± 25ml/min（僅用于傳感器）
溫度: 0~50℃（無(wú)結(jié)露）
濕度: 無(wú)結(jié)露
壓力: 0~300PaG
zui大容許壓力: 30kPaG
測(cè)量量程 0-10ppm O2至0-100vol% O2
輸出量程 自動(dòng): 0-10ppm，0-100ppm,，0-1000ppm,，0-1%，0-10%,，0-100%（默認(rèn)）其他: 可設(shè)為0- 0ppm,，0- 00ppm，0-000 ppm,，0- %,，0- 0%，0-100%,，1~9的整數(shù)
固定: 設(shè)為0-10ppm,，0-100ppm，0-1000ppm,，0-1%,，0-10%，或0-100%
部分: 可設(shè)置下限值或上限值
 
模擬輸出 2路輸出,，
一次: 4～20mA DC（zui大負(fù)載電阻: 550Ω）
二次: 可選為0~1,，0~5，0~10V DC（負(fù)載電阻: 10kΩ或更大）
接點(diǎn)輸出 報(bào)警輸出2點(diǎn): 錯(cuò)誤接點(diǎn),，O2濃度報(bào)警接點(diǎn)
量程范圍輸出1點(diǎn): 接點(diǎn)輸出
多選擇器（選配件）: 流路切換接點(diǎn)輸出和測(cè)量中流路信息接點(diǎn)輸出
 
接點(diǎn)輸入 1點(diǎn): 采樣氣體吸入泵的遠(yuǎn)程ON/OFF
自診斷 錯(cuò)誤（故障）: 傳感器錯(cuò)誤,，加熱器溫度錯(cuò)誤，溫度傳感器斷開(kāi),，設(shè)備溫度錯(cuò)誤,，CPU錯(cuò)誤，F(xiàn)AN停止
報(bào)警（警告）: 加熱器不穩(wěn)定,，傳感器錯(cuò)誤，電動(dòng)勢(shì)異常,，非對(duì)稱電壓錯(cuò)誤錯(cuò)誤,，標(biāo)定錯(cuò)誤，傳感器電阻錯(cuò)誤,，O2濃度上/下限,，超限
 
串口通信 RS-232，38400 bps
標(biāo)定方法 （1）3點(diǎn): 10ppm,，1000ppm,，空氣，（2）2點(diǎn): 可設(shè)定為零點(diǎn)氣和量程氣標(biāo)定，（3）1點(diǎn),，（4）空氣標(biāo)定
暖機(jī)時(shí)間 20分以內(nèi)
電源 100 - 120V AC/220 - 240V AC,，50/60Hz
功耗 100～120V AC，200VA zui大,，220～240V AC,，400 VA zui大
尺寸 213 （W） x 132 （H） x 約375 （D） mm
質(zhì)量 約5kg
管線連接 氣體入口: Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋
氣體出口: Rc1/4或1/4NPT內(nèi)螺紋
環(huán)境條件 安裝條件: 室內(nèi)，盤裝或壁裝,，非易燃區(qū)域
環(huán)境溫度: 0～40℃,，無(wú)結(jié)露
環(huán)境濕度: 5～85%RH
儲(chǔ)存溫度: -5～50℃
 
符合的安全標(biāo)準(zhǔn)
和EMC標(biāo)準(zhǔn) 安全標(biāo)準(zhǔn): 61010-1:2001
EMC: EN 61326-1 Class A，Table 2（用于工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)） EN 61326-2-3,，EN 61000-3-2,，EN 61000-3-3