名稱：電阻率測試儀 
型號：WSP-06  
  
儀器資料： 
1、 電阻率測試儀WSP-06主要技術(shù)指標:

電源：220V交流

可測晶片直徑（zui大）Ф100mm,方形230×220mm

恒流源：電流量程為0.01～1mA連續(xù)可調(diào)，誤差≦±0.5%,。

數(shù)字電壓表：量程：0.1～200mV,zui大分辨率：100μV

電阻率顯示：三位半數(shù)字顯示：小數(shù)點、極性,、過載,、自動顯示0.01-199.99歐姆。厘米

輸入抗阻：0.2mV和2mV量程：＞108Ω

zui大電阻測量誤差（按JJG508-87進行）：0.1Ω,、1Ω,、10Ω、100Ω≤±5%讀數(shù)±2個字,。

測量環(huán)境：溫度23±2℃,，相對濕度≤65%

2、WSP-06操作程序：

  1、首先連好電源,，打開后面板電源開關(guān),，電源指示燈亮，表示待機完畢,。

  2,、校準設(shè)備：根據(jù)國標電流修正系數(shù)表通過厚度調(diào)節(jié)電流來校準儀器，或通過：厚度小于3.98mm取與要備測試硅材料厚度相同的硅材料標準樣塊校準,，測試厚度大于3.98mm的硅材料可取厚度大于3.98mm的任一標準樣塊校準

  3,、測試：用四探針接觸硅材料，以探針壓下三分之二為準,，待儀器顯示數(shù)字穩(wěn)定即可,，

  4校驗：在測試過程中要求2小時用標準樣塊校準一次設(shè)備，

3,、 針組件;維護及注意事項:

  1,、一般情況下,除了信號傳輸線的斷裂引起的故障外, 針的維護主要包括針頭的更換和針頭  的  清理清潔工作

  2、維護后的安裝及維護過程中,必須注意安裝過程中的排線位置,按綠紅黃黑（1234）位置排列,。