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真空泵的選型

閱讀:361        發(fā)布時間:2011-4-7

真空泵的選型


點擊次數(shù):313 來源:真空泵 發(fā)布時間:2007-8-28
1,、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求,。如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg,。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級,。
            
     2、正確地選擇真空泵的工作點,。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,,如:擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg,在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),,泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化,,其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5×10-4~5×10-6mmHg。因而,,泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi),,而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,,但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1×10-5mmHg為好,。
            
     3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量,。
            
     4,、正確地組合真空泵。由真空泵有選擇性抽氣,,因而,,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,,互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求,。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,,但不能抽氦,,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,,兩者組合起來,,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,,有的真空泵不能在大氣壓下工作,,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,,需要前級泵,,故都需要把泵組合起來使用。
            
     5,、真空設(shè)備對油污染的要求,。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時,應(yīng)該選各種無油泵,,如:水環(huán)泵,、分子篩吸附泵、濺射離子泵,、低溫泵等,。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,,加上一些防油污染措施,,如加冷阱、障板,、擋油阱等,,也能達(dá)到清潔真空要求。
            
     6,、了解被抽氣體成分,,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,,有無腐蝕性等,。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,,針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵,。如果氣體中含有蒸氣、顆粒,、及腐蝕性氣體,,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器,、除塵器等,。
            
     7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何,。如果環(huán)境不允許有污染,,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外,。
            
     8,、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許,,應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施,。
            
     9、真空泵的價格,、運轉(zhuǎn)及維修費用,。
            
     水環(huán)式真空泵的選擇
            
     一、泵類型的確定
            
     泵的類型主要由工作所需的氣量,、真空度或排氣壓力而定,。
            
     泵工作時,需要注意以下兩個方面:
            
     1.盡可能要求在區(qū)內(nèi),,也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運行,。
            
     2.應(yīng)避免在zui大真空度或zui大排氣壓力附近運行。在此區(qū)域內(nèi)運行,,不僅效率極低,,而且工作很不穩(wěn)定,易產(chǎn)生振動和噪音,。對于真空度較高的真空泵而言,,在此區(qū)域之內(nèi)運行,往往還會發(fā)生汽蝕現(xiàn)象,,產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標(biāo)志是泵內(nèi)有噪音和振動,。汽蝕會導(dǎo)致泵體、葉輪等零件的損壞,以致泵無法工作,。
            
     根據(jù)以上原則,,當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時,可優(yōu)先在單級泵中選取,。如果真空度或排氣壓力較高,,單級泵往往不能滿足,或者,,要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量,,即要求性能曲線在較高真空度時較平坦,可選用兩級泵,。如果真空度要求在-710mmHg以上,,可選用水環(huán)-大氣泵或水環(huán)-羅茨真空機(jī)組作為抽真空裝置。
            
     如果只作真空泵用,,則選用單作用泵比較好,。因為單作用泵的構(gòu)造簡單,,容易制造和維護(hù),,且在高真空情況下抗汽蝕性好。
            
     如果僅作較大氣量的壓縮機(jī)使用,,則選用雙作用的泵比較合適,。因為雙作用泵的氣量大,體積小,,重量輕,,徑向力能得到自動平衡,軸不容易產(chǎn)生疲勞斷裂,,泵的使用壽命較長,。

     二、根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵

     初步選定了泵的類型之后,,對于真空泵,,還要根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量來選用泵的型號。
 

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