德國(guó)HYDAC賀德克溫度傳感器：德國(guó)HYDAC賀德克溫度探針  

電子探針主要由電子光學(xué)系統(tǒng)（鏡筒）,，X射線譜儀和信息記錄顯示系統(tǒng)組成。電子探針和掃描電鏡在電子光學(xué)系統(tǒng)的構(gòu)造基本相同,，它們常常組合成單一的儀器,。
1 電子光學(xué)系統(tǒng)
該系統(tǒng)為電子探針分析提供具有足夠高的入射能量，足夠大的束流和在樣品表面轟擊殿處束斑直徑近可能小的電子束,，作為X射線的激發(fā)源,。為此，一般也采用鎢絲熱發(fā)射電子槍和2-3個(gè)聚光鏡的結(jié)構(gòu),。 為了提高X射線的信號(hào)強(qiáng)度,，電子探針必須采用較掃描電鏡更高的入射電子束流（在10-9-10-7A范圍），常用的加速電壓為10-30 KV,，束斑直徑約為0.5μm,。
電子探針在鏡筒部分與掃描電鏡明顯不同之處是由光學(xué)顯微鏡。它的作用是選擇和確定分析點(diǎn),。其方法是,，先利用能發(fā)出熒光的材料（如ZrO2）置于電子束轟擊下,，這是就能觀察到電子束轟擊點(diǎn)的位置，通過(guò)樣品移動(dòng)裝置把它調(diào)到光學(xué)顯微鏡目鏡十字線交叉點(diǎn)上,，這樣就能保證電子束正好轟擊在分析點(diǎn)上,，同時(shí)也保證了分析點(diǎn)處于X射線分光譜儀的正確位置上。在電子探針上大多使用的光學(xué)顯微鏡是同軸反射式物鏡,，其優(yōu)點(diǎn)是光學(xué)觀察和X射線分析可同時(shí)進(jìn)行,。放大倍數(shù)為100-500倍。
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