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技術參數(shù) | Ra,、Rp,、Rv、Rt,、Rz,、Rq、Rsk,、Rku,、Rc,、Rpc、Rsm,、Rmr（C）,、tp、Rmr,、Rpm,、Rz1max、RzJIS,、Rmax,、Htp、Rδc,、RΔq,、RΔa、Rk,、Rpk,、Rvk、Mr1,、Mr2,、A1、A2 Pa,、Pp,、Pv、Pt,、Pz,、Pq、Psk,、Pku,、Pc、PSm,、Pmr（c）,、Pmr、Pz1max,、PzJIS,、Pδc、P△q | ||
傳感器 | 測量原理 | 電感式 | |
測量范圍 | 400μm | ||
針尖半徑 | 5μm | ||
針尖材料 | 金剛石 | ||
觸針測力 | 4mN | ||
觸針角度 | 90° | ||
導頭縱向半徑 | 45mm | ||
大驅(qū)動行程 | 19mm | ||
量程和分辨力 | 量程 | 分辨力 | |
±25μm | 0.001μm | ||
±200μm | 0.008μm | ||
濾波方式 | GAUSS,、2RC,、ISO13565 | ||
取樣長度 | 0.25mm、0.8mm,、2.5mm,、自動 | ||
評定長度 | 1L～5L（可選,，L為取樣長度） | ||
示值誤差 | ±10% | ||
示值重復性 | ≤6% | ||
工作環(huán)境 | 溫度：0ºC～40ºC 相對濕度：＜90%RH | ||
外型尺寸及重量 | 主機：155.4mm×75mm×53mm，約580g,； 驅(qū)動器：120.5mm×25.5mm×28.5mm,，約165g | ||
電源 | 內(nèi)置電池：鋰離子充電電池； 電源適配器：輸入：100V240VAC,，50/60Hz,； 輸出：9V，3A,。 | ||
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