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測量型金相顯微鏡

產(chǎn)品用途

    測量型金相顯微鏡是一種兼顧影像,、目視與納米高度測量多用的高精度,、高效率測量儀器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng),，可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu),，是集光、機(jī),、電、算,、影像于一體的顯微鏡,。該產(chǎn)品以二維測量為主,，也可作三維輔助測量，廣泛應(yīng)用于電子組件,、精密模具,、塑料、PCB加工方面,、鍍膜厚度,、手機(jī)玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。

產(chǎn)品特點(diǎn)

● X,、Y,、Z軸0.5μm分辨率；
● 可選配白光納米檢測模組,；
● Z軸粗調(diào)/微調(diào)旋鈕,；
● 同軸表面光/底光測量；
● 內(nèi)建偏光量測光學(xué)模塊,；
● 可量測透明材質(zhì)納米級(jí)高度差

規(guī)格型號(hào)

MTM-1510M

MTM-2010M

工作行程X,、Y、Z軸

150*100*120（mm）

200*100*120（mm）

金屬臺(tái)尺寸

210*160（mm）

260*160（mm）

玻璃臺(tái)尺寸

354*228（mm）

404*228（mm）

光學(xué)尺分辨率

0.5μm

示值誤差

X,、Y坐標(biāo)≤（3+L/75）μm （L為測量長度,，單位mm）

影像系統(tǒng)

彩色1/2"CCD攝像機(jī)；640*480像素,；結(jié)合測量軟件

顯微鏡系統(tǒng)

目鏡：10倍

濾光片：紅,，藍(lán)，綠,，白

測量模式：反射,，透射，偏光

5孔物鏡轉(zhuǎn)換器

物鏡放大倍率誤差

包括畸變?cè)趦?nèi)的放大率誤差≤0.008%

總放大倍數(shù)

50X——500X

照明系統(tǒng)

透射照明光源：白光LED,，亮度可調(diào)

同軸照明光源：鹵素?zé)?，亮度可調(diào)

物鏡

倍率

5X

10X

20X

50X

工作距離（mm）

26.1

20.2

8.8

3.68

高度量測模塊（選配件）   

光干涉高度量測模塊（M10-CA），高度量測分辨力0.5μm（選配）

倍率：10X,，工作距離5mm,，光學(xué)分辨力2μm

其它參數(shù)

外形尺寸（mm）

590*560*850

儀器重量（kg）

100

110

電源功耗

110V—220V 50/60Hz <60W