金相顯微鏡性能特點(diǎn)：
測(cè)量型金相顯微鏡是一種兼顧影像,、目視與納米高度測(cè)量多用的高精度,、高效率測(cè)量?jī)x器,。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng),，可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu),，是集光、機(jī),、電,、算、影像于一體的顯微鏡。

金相顯微鏡性能特點(diǎn)：

測(cè)量型金相顯微鏡是一種兼顧影像,、目視與納米高度測(cè)量多用的高精度,、高效率測(cè)量?jī)x器。該產(chǎn)品具有電視成像與目視光學(xué)兩套瞄準(zhǔn)系統(tǒng),，可人工觀察金屬表面的金相組織結(jié)構(gòu),，是集光、機(jī),、電,、算、影像于一體的顯微鏡,。該產(chǎn)品以二維測(cè)量為主,，也可作三維輔助測(cè)量，廣泛應(yīng)用于電子組件,、精密模具,、塑料、PCB加工方面,、鍍膜厚度,、手機(jī)玻璃等工業(yè)領(lǐng)域。

金相顯微鏡性能特點(diǎn)：

1. Z軸光柵尺分辨力為0.1μm

2. X,、Y軸采用空氣軸承,、花崗石導(dǎo)向，保證了機(jī)械系統(tǒng)的精確穩(wěn)定,，提高了測(cè)量精度

3. X,、Y、Z三軸伺服控制,，定位精度高,、速度快，運(yùn)行平穩(wěn)

4. 同軸光/底光測(cè)量

5. 內(nèi)置偏光測(cè)量光學(xué)模塊

6. 自主開發(fā)QMS3D-M軟件,，高清晰進(jìn)口1/2"彩色攝像機(jī)

7. 可通過(guò)激光指示器尋找被測(cè)工件的具體位置,，可適應(yīng)復(fù)雜工件的測(cè)量

8. 可實(shí)現(xiàn)Z軸自動(dòng)對(duì)焦

9. 具有偏光和DIC檢測(cè)功能

10. 可搭配白光納米檢測(cè)模塊測(cè)量納米級(jí)厚度

技術(shù)規(guī)格參數(shù)：

型號(hào)		MTM-6065H	MTM-6090H
工作臺(tái)	玻璃臺(tái)尺寸(mm)	1070 x 640	1070 x 640
	X、Y軸運(yùn)動(dòng)行程(mm)	600 x 650	600 x 900
Z軸行程(mm)		200
外形尺寸(mm)		1800 x 1350 x 1450
儀器重量(kg)		1300	1500
X,、Y軸光柵尺分辨力(μm)		0.5
Z軸光柵尺分辨力(μm)		0.1
示值誤差(μm)		E1XY=( 2.5+ L/200) μm (L為測(cè)量長(zhǎng)度,，單位mm)
物鏡放大倍數(shù)誤差		包括畸變?cè)趦?nèi)的放大率誤差≦0.08%
落射照明光源		可調(diào)高亮度鹵素?zé)?/p>
底光照明光源		可調(diào)高亮度LED燈源
		目視系統(tǒng)	影像系統(tǒng)
物鏡放大倍數(shù)		5X、10X,、20X,、50X(可選配100X)	5X、10X,、20X,、50X,；10X Mirau物鏡
目鏡放大倍數(shù)		10X雙鏡筒	1/2”CCD攝像機(jī)
視頻總倍率		50X ~500X	142.5X ~1425X (19.5”顯示器，分辨率1440 x 900)