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真空泵的選型

時間:2012-7-24閱讀:1308
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真空干燥箱等真空設(shè)備對真空泵的選型是非常重要的,如何選好真空泵意味著真空設(shè)備的能否正常使用至關(guān)重要的,。上海柏欣儀器設(shè)備廠專業(yè)生產(chǎn)真空干燥箱等系列產(chǎn)品,,為了顧客朋友更好的使用本廠生產(chǎn)的真空干燥箱,,所以我們覺得應(yīng)該向客戶介紹一下真空泵的選型,。首先我們就對真空泵做個系統(tǒng)的了解。當(dāng)然也歡迎真空泵的廠家和我們一同探討一下這個問題,。以下問題如有欠缺和不妥之處還望朋友們支出和見諒,,謝謝。
     1,、真空泵在其工作壓強下,,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。
     2,、真空泵的工作壓強應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強要求,。如:真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度,選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg,。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級,。     
     3、正確地組合真空泵,。由于真空泵有選擇性抽氣,,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,,需要幾種泵組合起來,,互相補充才能滿足抽氣要求,。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度,。另外,,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空,;有的真空泵出口壓強低于大氣壓,,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用,。
     4,、正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,,如:擴散泵為10-3~10-7mmHg,,在這樣寬壓強范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強而變化,,其穩(wěn)定的工作壓強范圍為5×10-4~5×10-6mmHg,。因而,,泵的工作點應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi),而不能讓它在10-8mmHg下長期工作,。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作,,但其工作壓強應(yīng)小于1×10-5mmHg為好 。     
     5,、了解被抽氣體成分,,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆?;覊m,,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,,需要知道氣體成分,,針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣,、顆粒,、及腐蝕性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備,,如冷凝器,、除塵器等。
     6,、真空設(shè)備對油污染的要求,。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時,應(yīng)該選各種無油泵,,如:水環(huán)泵,、分子篩吸附泵、濺射離子泵,、低溫泵等,。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,,加上一些防油污染措施,,如加冷阱、障板,、擋油阱等,,也能達到清潔真空要求。
     7,、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響,。若工藝過程不允許,應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。
     8,、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何,。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,,或者把油蒸氣排到室外,。
     9、真空泵的價格,、運轉(zhuǎn)及維修費用,。

 

 
 

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