充氮厭氧烘箱于硅片（或晶片,、晶圓片,、圓片）進行清洗之后干燥硅片工藝.
PHH-系列充氮厭氧烘箱特點:
1）全周氬焊,，耐高溫硅膠迫緊，SUS304＃不銹鋼電熱產生器,，防機臺本身產生微塵,；
2）耐高溫，可以達到和工作場同樣的地潔凈等級,；
技術參數：
1． 型號:PHH-1008
2．工作尺寸（mm）: W1400×H1300×D600 （寬*高*深）
3．外形尺寸（mm）: W1990×H1850×D810 （寬*高*深）
4． 送風方式：強制送風循環(huán),。
5． 溫度范圍：RT＋10℃～300℃。
6． 溫度波動：<±0.5℃,。
7． 溫度均勻：±1.5% ,。
依測規(guī)范：測SENSOR置放點，離內箱壁內尺寸1／10處,。
8．溫控裝置：日本富士P.I.D智能溫控儀表,， LED數字顯示及設定、P.I.D自動演算,、時間定時,。
溫控輸出：SSR輸出，歐姆龍繼電器,，固態(tài)繼電器,。
測溫裝置：1支PT100 鉑 電阻溫度傳感裝置，測溫精確,。
定時裝置：HS48S-99.99定時儀表,。
9．內室材料：采用 1.0mm厚度SUS不銹鋼鋼板板金折彎加工，周身做氬弧焊滿焊,，密閉,，氮氣不泄露；外箱優(yōu)質SUS不銹鋼數字加工而成,，美觀大方 ,。
10．保溫材質：硅酸鋁。
11．特質復合式SUS304＃不銹鋼電熱產生器,。
12．保護裝置：超溫保護,，欠相保護,過載保護器，蜂鳴器,，開門氮氣自動中斷保護
充氮厭氧烘箱：, 傳真: ,：蔣鑫,
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