硅晶片高溫真空烘箱,，450度硅芯片充氮真空烤箱

VOD-90

一、產(chǎn)品名稱及型號：

 1.1產(chǎn)品名稱：真空高溫干燥箱  

 1.2產(chǎn)品型號：VOD-90

二,、主要技術(shù)指標(biāo)：

2.1 電源：AC380V 3φ 50HZ

2.2 規(guī)格尺寸,，功率：

2.3 升溫、降溫速率要求:

額定升溫速率: ≥4 ℃/minute

 額定升溫速率: 2 ℃/minute

額定降溫速率: 2 ℃/minute

 額定降溫速率: ≥4 ℃/minute (400℃降至100℃,客戶需配冷卻塔)

常用溫度: 350℃

 額定溫度：450℃

三,、箱體結(jié)構(gòu)：

外壁材料： 冷扎碳鋼板,，經(jīng)防銹處理后靜電噴塑，耐劃傷;                                  

內(nèi)膽材料： 5mm厚,，SUS304不銹鋼，不銹鋼內(nèi)外表面拋光;                                                   

保溫材料：厚度150毫米硅酸保溫棉,，保溫性能良好;

門:真空密封緊迫;門縫自帶高溫保護.(高溫狀態(tài)下使用,為耗品,建議2-3個月更換一次)

四,、真空度：

真空泵: LEYBOLD真空泵.(客戶可自行購真空泵,或者制定真空泵型號);

真空度: ≤10 pa;                                                        

五、加熱系統(tǒng)：

   加熱元件：四面輻射加熱;                                               

六,、電器系統(tǒng)：

  系統(tǒng)采用PLC控制,加熱啟停,、冷卻啟停,、真空泵啟停、充氮氣啟停,；                       

  溫控輸出：SSR輸出,，歐姆龍繼電器，固態(tài)繼電器                                                                

七,、安全保護：

加熱電流過流,、

系統(tǒng)短路保護;

電壓過壓保護;

真空泵過負載、

缺相保護;

電爐超溫報警等功能,。

硅晶片高溫真空烘箱,，450度硅芯片充氮真空烤箱