電子薄膜應(yīng)力分布測試儀1 返回列表頁

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產(chǎn)品型號BGS-6341

品牌恒奧德

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地北京市

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更新時間：2024-04-17 12:47:58瀏覽次數(shù)：1875次

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產(chǎn)品分類品牌分類

其它儀器儀表: 里氏硬度計測報燈控制器計量器

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產(chǎn)品簡介

該產(chǎn)品主要應(yīng)用在微電子,、光電子線上和科研,、教學(xué)等域Si,、Ge,、GaAs等半導(dǎo)體基片及電子薄膜應(yīng)力分布,、光學(xué)零件面形和平整度面形,、基片曲率
半徑測量測試,。該儀器總測量點數(shù)多, 能給出場面型分布結(jié)果, 適合于微電子線上產(chǎn)量的快速檢驗和微電子研究

詳情介紹

電子薄膜應(yīng)力分布測試儀型號：BGS-6341

該產(chǎn)品主要應(yīng)用在微電子,、光電子線上和科研、教學(xué)等域Si,、Ge,、GaAs等半導(dǎo)體基片及電子薄膜應(yīng)力分布、光學(xué)零件面形和平整度面形,、基片曲率

半徑測量測試,。該儀器總測量點數(shù)多, 能給出場面型分布結(jié)果, 適合于微電子線上產(chǎn)量的快速檢驗和微電子研究。

儀器基于干涉計量的場測試原理, 可實時觀測面型的分布, 迅速了解被測樣品的形貌及應(yīng)力集中位置, 及時淘汰早期失效產(chǎn)品,。

際*的錯位相移

計算機自動條紋處理

測試過程自動

的曲面補償測試原理

zui大樣品尺寸	≤100mm （4英寸）
曲率范圍	\|R\|≥5米
測試度	5%
單片測量時間	3分鐘/片
結(jié)果類型	面形,、曲率半徑、應(yīng)力分布,、公式表示,、數(shù)據(jù)表格
圖形顯示能	三維立體顯示、二維偽彩色顯示,、單截面曲線顯示
電源	AC 220V±10%, 50Hz±5%
zui大耗	100W
外型尺寸（L×W×H）	285mm×680mm×450mm
重量	36kg