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手持式四探針測(cè)試儀四探針測(cè)試儀型號(hào)：GZ-RTS-3

	測(cè)量范圍寬,、度,、穩(wěn)定性好,、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作的手持式,；
	體積僅為：185mm（長(zhǎng)）90mm（寬）30mm（）,；重量：350g；
	使用鋰電池供電,，次充電可連續(xù)使用100小時(shí),；

    RTS-3型手持式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而的,，用于測(cè)量硅晶塊,、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層,、ITO導(dǎo)電箔膜,、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
    儀器采用了電子行,、裝配,。具有能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快,、度,、測(cè)量范圍寬,、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊,、易操作等點(diǎn)。如有需要可加配測(cè)試臺(tái)使用,。
    本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠,、半導(dǎo)體器件廠、科研單位,、等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試,。

　術(shù)　　標(biāo) ：

測(cè)量范圍	電阻率：0.01～1999.9Ω.cm；方塊電阻：0.1～19999Ω/□,；
恒源	電量程分為100μA,、1mA兩檔，兩檔電連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表	量程及表示形式：000.00～199.99mV,；分辨力：10μV,；輸入阻抗：>1000MΩ；度：±0.1%,；顯示：以大屏幕LCD顯示讀數(shù),，直觀清晰；性,、量程自動(dòng)顯示,；
四探針探頭基本標(biāo)	間距：1±0.01mm；針間緣電阻：≥1000MΩ,；機(jī)械游移率：≤0.3%,；探針：碳化鎢或速鋼Ф0.5mm；探針壓力：5～16 牛頓（總力）,；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù)	（見(jiàn)探頭附帶的合格證）
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差（按JJG508-87行）	1Ω,、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差	（用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試）≤±5%
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度	≤5%
外型尺寸	185mm（長(zhǎng)）90mm（寬）30mm（）
重量	350g
電源	鋰電池,，次充電可連續(xù)使用100小時(shí),；
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境	溫度：23±2℃；相對(duì)濕度：≤65%,；無(wú)頻干擾,；無(wú)強(qiáng)光直射