二探針單晶硅及多晶硅測(cè)試儀　型號(hào)：HHY8-GL-1

本儀器主要用于測(cè)量大直徑的單晶硅和多晶硅的電阻率分布情況，以便硅材料的切割和,。

    為適應(yīng)大規(guī)模集成電路的迅猛發(fā)展,，別是計(jì)算機(jī)芯片、內(nèi)存的發(fā)展,，越來(lái)越多的使用到了大直徑,、純度、均勻度更的單晶硅材料,。目前,，在美,、德等的業(yè)家，均采用了二探針?lè)?，使用二探針檢測(cè)儀來(lái)測(cè)量大直徑單晶硅的電阻率分布情況,。

儀器符合美ASTM 《“F391-77”關(guān)于二探針測(cè)量硅單晶試驗(yàn)方法》的標(biāo)準(zhǔn)，是種新型的半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀,，適合半導(dǎo)體材料廠和器件廠用于二探針?lè)y(cè)量單晶硅和多晶硅半導(dǎo)體棒狀材料的體電阻率,，從而步判斷半導(dǎo)體材料的性能，導(dǎo)和監(jiān)視操作,，也可以用來(lái)測(cè)量金屬材料的電阻,，儀器具有測(cè)量度、穩(wěn)定性好,、結(jié)構(gòu)緊湊,、使用方便、型美觀等點(diǎn),。也可以配四探針測(cè)試頭作常規(guī)的四探針?lè)y(cè)量硅晶體材料,。

    儀器分為儀表電氣控制箱、測(cè)試臺(tái),、探頭三分,，儀表電氣控制箱由靈敏度直數(shù)字電壓表、抗干擾隔離性能的電源變換裝置,、穩(wěn)定度恒源和電氣控制分組成,。測(cè)量結(jié)果由大型LED數(shù)字顯示，零位穩(wěn)定,、輸入阻抗,，并設(shè)有自校能。在棒狀材料使用二探針?lè)y(cè)試時(shí),，具有系數(shù)修正能,，從面板輸入相應(yīng)的修正系數(shù)，可以直接讀出電阻率,，使用方便,。測(cè)試臺(tái)結(jié)構(gòu)新穎，型美觀,，可以方便地固定好大小意尺寸的樣品,，并可以作逐點(diǎn)選擇步測(cè)量，也可以自由選擇固定位置測(cè)量,，電活動(dòng)自如,，具備鎖定裝置，方便重復(fù)測(cè)量,。另外還配置了二處記錄板和轉(zhuǎn)椅,，測(cè)試探頭能自動(dòng)升降,，探針為碳化鎢材料，配置寶石軸承,，具有測(cè)量度,、游移率小、耐磨,、使用壽命長(zhǎng)點(diǎn),。同時(shí)探頭壓力恒定并且可調(diào)整，以適合不同的材料,。