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HAD-D07-7B型 質(zhì)量量控制器
儀器簡(jiǎn)介:
質(zhì)量量控制器(MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量量行地測(cè)量和控制,。廣泛用于電子設(shè)備,、真空鍍膜,、 石油化、冶金,、制藥,、光纖熔煉、分析測(cè)量?jī)x器,、制氣配氣等行業(yè),。
參數(shù):
滿量程量范圍(N2) | 5SCCM~10SLM |
控制范圍 | 2~100%F.S. |
閥類(lèi)型(及閥初始狀態(tài)) | 電磁調(diào)節(jié)閥(常閉) |
準(zhǔn)確度 | ±1.5%F.S. |
線性 | ±0.5~1.5%F.S. |
重復(fù)度 | ±0.2%F.S. |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤7sec |
作溫度范圍 | 5~45℃ |
作壓差 | 0.1~0.5MPa |
耐壓 | 3MPa |
漏氣率 | 1×10-8atm.cc/sec He |
密封材料 | 氟橡膠(或氯丁橡膠) |
電插頭形式 | DB15 pin(Female) |
接頭選擇 | VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose |
重量 | 1.1Kg |
〖 關(guān)閉 〗
北京恒奧德儀器儀表有限公司
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