您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)
精密勻膠機(jī)Smart Coater 100
特性優(yōu)點(diǎn)：
的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì),，縮小了設(shè)備的尺寸,。
7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),，更方便操作,。
on ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝,。
標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速10000rpm，并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制,。
采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī),，電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。
機(jī)身選用耐酸堿,、耐沖擊,、耐腐蝕不銹鋼，生銹,，便于清洗,。
排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部 （以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性）。
透明可視,，耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,，可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔絕光阻的溢出有效隔絕有毒氣味的散發(fā),。
主要性能指標(biāo)：
主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料（抗化學(xué)腐蝕易清潔）
旋涂程序：zui多可存100組程序，每組100步,，每個(gè)步驟可到0.1秒
轉(zhuǎn)動(dòng)速度：0-10,000rpm(可選更高速)
旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空載）
馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1%
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm,，重復(fù)性< 1rpm
工藝時(shí)間設(shè)定： 0-3,000 sec/step，時(shí)間設(shè)置精度：0.1sec
支持wafer尺寸1cm-200mm
旋涂作業(yè)均勻性：< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)（需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量）
設(shè)備尺寸 32cm W × 44cm D × 30cm H