目錄:中美合資合肥科晶材料技術(shù)有限公司>>CVD,、PECVD設(shè)備>> 1200℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)-OTF-1200X-80-I-F3LV
OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的單溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),,其管徑為80mm,采用機械泵,,供氣系統(tǒng)為三路浮子供氣系統(tǒng),,其真空度可達(dá)到 10-2 torr.
技術(shù)參數(shù)
高溫爐殼體 |
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功率 | 2.5 KW |
電壓 | AC 208-240V 單相, 50/60 Hz |
加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有氧化鋯涂層,,使其zui大程度延長使用壽命) |
zui高工作溫度 | 1200℃ |
連續(xù)工作溫度 | 1100℃ |
zui快升溫速率 | <= 20 ℃ |
爐管材質(zhì)和尺寸 | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
加熱區(qū)長度 | 400 mm |
恒溫區(qū)長度 | 150 (+/-1 ℃) |
控溫系統(tǒng) |
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控溫精度 | +/- 1 ℃ |
真空密封系統(tǒng)
(點擊圖片查看詳細(xì)資料) | 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥),zui大漏氣率6 mtorr/min |
真空泵 | 采用雙旋機械泵,,機械泵上安裝有油污過濾器,,可以過濾真空泵工作時產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,,保護(hù)環(huán)境和人體健康,,過濾的zui小微粒直徑為0.3微米。 |
數(shù)字式真空顯示計
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混氣系統(tǒng) |
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尺寸 |
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凈重 | 約60kg |
運輸重量 | 200 |
質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期(不包括爐管 ,、加熱元件和密封圈的損耗件) |
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