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輸入電源

• AC 220V , 50/60 Hz, 
• zui大射頻功率: 100 W 
• 真空泵功率: < 500W
• 總功率: < 600W

射頻功率

• 射頻功率可在 0 - 100W之間調(diào)節(jié)
• 射頻:   13,56 MH
• 可以與本公司工作人員采用300W或500W的射頻電源,，來進行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗

等離子腔體

• 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體
• 鋁制折疊式法蘭來進行真空密封
• 法蘭上有一個直徑為60mm的觀察窗口

控制面板

• 通過6" 彩色觸摸屏,，可控制射頻功率、真空泵的開啟,、清洗時間和氣體流量等.
• 儀器內(nèi)部安裝有一0 - 500ml/minute質(zhì)量流量計,，可精確地控制進氣流量

真空泵

• 儀器中包括一臺240L/min直聯(lián)式雙旋真空泵、KF25波紋管以及KF25的手動擋板閥,。
• 極限真空度為50mTorr

通入氣體

等離子腔體中可以通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,，如N2, Ar, Air，H2,、O2和混合氣體等等（根據(jù)材料性質(zhì)所定）

可選

• 可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片
• 可選購2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)
  

外型尺寸

620 L ×450 W ×600 H, mm

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,，終生維護