真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類,，包括真空離子蒸發(fā),，磁控濺射,，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積等很多種,。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種,。真空鍍膜機設(shè)備中的擴散泵連續(xù)使用6個月以上，抽速就會明顯變慢,，或操作失當,，充入大氣，拆去聯(lián)結(jié)水管,，卸下電爐盤,，將一級噴嘴擰出，先用汽油將泵腔及泵膽清洗一遍,，再用洗衣粉兌水清洗一遍,，然后用清水*清洗干凈，待水份揮發(fā)干以后,，裝好泵膽,，加入新擴散泵油，并裝回機體,，接好水管,，裝好電爐盤，便可以重新開機,。在重新開機前，要注意檢漏工作,。啟動維持泵,，關(guān)好大門，數(shù)分鐘后,，觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕,，否則要進行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈,，或壓壞密封圈,。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴散泵油會燒環(huán),，無法進入工作狀態(tài),。
真空鍍膜機設(shè)備每完成200個鍍膜程序以上，應(yīng)清潔工作室一次,。用燒堿（NaOH）飽和溶液反復(fù)擦洗真空室內(nèi)壁,，（ 注意人體皮膚不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷）目的是使鍍上去的膜料鋁（AL）與NaOH發(fā)生反應(yīng),，反應(yīng)后膜層脫落,，并釋放出氫氣，再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。
當真空鍍膜機（真空鍍膜設(shè)備）粗抽泵（滑閥泵,，旋片泵）連續(xù)工作一個月（雨季減半）,，需更換新油。將泵內(nèi)的舊油*排放出來,。擰回放油螺栓,，加入新油至額定量（油視鏡觀察）。連續(xù)使用半年以上,，換油時應(yīng)將油蓋打開,，用布擦干凈箱內(nèi)污垢。
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