高真空蒸發(fā)鍍膜儀可提供大100A鍍膜電流,，大蒸發(fā)溫度高達1800℃，可滿足各種普通金屬和部分非金屬的蒸發(fā),。真空室采用高純石英,，易于觀察鍍膜過程，易清洗,；結(jié)合分子泵組,，可達到5x10-4pa的極限真空度，有效保證氣相沉積膜的純度和附著力,。
全自動程序控制,，彩色觸摸屏界面,，操作簡單，可鍍金（AU）,、鉑（PT）等非氧化性貴金屬,，也可鍍銥（IR）、鉻（CR）,、鋁(AL)等細(xì)小顆粒易氧化膜材料,。特別適用于場發(fā)射電鏡、透射電鏡樣品制備和非晶碳包覆膜/TEM網(wǎng)格支撐膜的制作,，也可為薄膜應(yīng)用等材料領(lǐng)域提供理想的鍍膜平臺,。那么它需要怎樣的維護和保養(yǎng)？
1,、高真空蒸發(fā)鍍膜儀每完成200道以上的鍍膜工序,，應(yīng)清洗一次工作間。方法是用飽和燒堿（NaOH）溶液反復(fù)擦洗真空室壁（注意人體皮膚不能直接接觸燒堿溶液,，以免燙傷）,。目的是使涂膜材料鋁（AL）與NaOH反應(yīng)，反應(yīng)后膜層脫落,，釋放氫氣,。然后用清水清洗真空室，用蘸有汽油的布擦凈精抽閥內(nèi)的污垢,。
2,、粗抽泵（滑閥泵和旋片泵）連續(xù)工作一個月（雨季一半）時，需要更換新油,。方法是：擰下開油螺栓,，排盡舊油，然后啟動泵數(shù)秒,，使泵內(nèi)的舊油*排出,。擰上回油螺栓，將新油加至規(guī)定量（用油視鏡觀察）,。連續(xù)使用半年以上,，換油時應(yīng)打開油蓋，用布擦凈箱內(nèi)臟物,。
3,、高真空蒸發(fā)鍍膜儀擴散泵連續(xù)使用6個月以上，抽速明顯慢或操作不當(dāng),。充入大氣,，拆下連接水管，拆下電爐板，擰出噴嘴,，用汽油清洗泵腔和泵囊,，然后用洗衣粉和水清洗，再用水*清洗,。待水揮發(fā)后,，裝上泵膽，加新的擴散泵油,，裝回機體,，接好水管，裝上電爐板,，即可重新啟動,。重啟前注意漏電檢測,。方法是：啟動維護泵,，關(guān)閉閘門，幾分鐘后觀察擴散泵的真空度是否達到6x10pa,，或進行泄漏檢測,。檢查接頭處是否安裝密封膠圈或密封圈是否損壞。排除潛在的漏氣后才能進行加熱,，否則擴散泵油會燒壞環(huán)而不能進入工作狀態(tài),。
11
立即詢價
您提交后,，專屬客服將第一時間為您服務(wù)