管式爐是在沉底材料上生長優(yōu)質(zhì)石墨烯,、碳納米管和碳化硅的專用設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、納米材料,、碳纖維、碳化硅,、涂層等新材料和新工藝,。它在使用前需要做好哪些準(zhǔn)備工作呢?
1,、設(shè)計溫度升降曲線,。升溫速率不得高于10℃/min,,降溫速率應(yīng)低于15℃/min。
2,、清潔環(huán)境,。
3、每周開始使用時,,檢查機(jī)械泵油路是否在標(biāo)線以上,,取下兩端蓋板,用吸塵器清潔剛玉爐管,。
4,、將樣品舟推入剛性管式爐中間(恒溫長度10cm)。
5,、塞住兩個絕緣爐塞,,使第二個爐塞的末端與爐體側(cè)面齊平。
6,、安裝燃?xì)鉅t法蘭,,確認(rèn)墊片落入凹槽內(nèi)。
管式爐使用步驟:
1,、打開主電源,,啟動風(fēng)扇。
2,、打開面板電源(順時針轉(zhuǎn)動鎖定旋鈕)啟動面板,。
3、使儀表處于初始狀態(tài)(即PV顯示數(shù)值,,SV閃爍顯示停止),。如果此時不在此狀態(tài),按向上鍵復(fù)位儀器,,使儀器只處于測量和顯示狀態(tài),。
4、長按左鍵1秒,,進(jìn)入溫度設(shè)定狀態(tài),。按左鍵移動光標(biāo),按上下鍵調(diào)整溫度設(shè)定值,。
5,、按Enter鍵1秒,進(jìn)入時間設(shè)置狀態(tài),。按左鍵移動光標(biāo),,按上下鍵調(diào)整時間設(shè)定值。
6、節(jié)目后的下一步是時間狀態(tài),,值為-121結(jié)束所有節(jié)目,。按回車確認(rèn)。
7,、按住左鍵,,然后按Enter鍵退出程序設(shè)置。
8,、按左鍵進(jìn)入程序設(shè)置狀態(tài),,然后連續(xù)按確定鍵,檢查設(shè)置的程序是否符合預(yù)定的升溫降溫曲線,。
9,、按住左鍵,然后按回車鍵復(fù)位,。
10,、長按2秒進(jìn)入基本參數(shù)設(shè)置。連續(xù)按回車鍵查看基本參數(shù),。
11,、按住左鍵,然后按回車鍵重置
12,、按回車鍵1秒,,查看是否為step1,即程序從step開始,。
13,、按住左鍵,然后按回車鍵復(fù)位,。
14,、按住向下鍵2秒,SV顯示運(yùn)行程序,。
15,、按綠色開機(jī)鍵啟動加熱電源,觀察電流表和電壓表:(若工作電流超過150A持續(xù)數(shù)秒,,按關(guān)機(jī)鍵斷開加熱電源,,檢查功能參數(shù)設(shè)置)。
16,、當(dāng)使用惰性氣體作為工作氣體時,,加熱過程中要密切注意壓力表,。如果壓力高于0.08mpa,,立即打開出口閥門放空。
17,、以氫氣為工作氣體時,,冷卻過程中注意監(jiān)控錐形瓶中的氣體出口,。如有反吸,立即逆時針調(diào)節(jié)流量計旋鈕,,增加進(jìn)氣量,。
18、管式爐升溫,、保溫,、降溫過程中操作人員不得離開。發(fā)生跳閘時,,應(yīng)立即接通電源,。
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